| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-27页 |
| 1.1 研究背景与课题来源 | 第10-11页 |
| 1.2 AlN陶瓷的性能及应用 | 第11-15页 |
| 1.2.1 AlN陶瓷的结构 | 第11-12页 |
| 1.2.2 AlN陶瓷的性能 | 第12-14页 |
| 1.2.3 AlN陶瓷的主要应用 | 第14-15页 |
| 1.3 AlN陶瓷的成型工艺研究现状 | 第15-19页 |
| 1.3.1 干压成型 | 第15页 |
| 1.3.2 等静压成型 | 第15-16页 |
| 1.3.3 粉末注射成型 | 第16-17页 |
| 1.3.4 流延成型 | 第17-19页 |
| 1.4 AlN陶瓷烧结的研究现状 | 第19-24页 |
| 1.4.1 烧结助剂 | 第19-23页 |
| 1.4.2 常见的烧结工艺 | 第23-24页 |
| 1.5 本文的研究意义及主要研究内容 | 第24-27页 |
| 1.5.1 本文的主要研究意义 | 第24-25页 |
| 1.5.2 本文的主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 材料制备与研究方法 | 第27-32页 |
| 2.1 实验原料 | 第27页 |
| 2.2 AlN材料的流延制备及烧结工艺 | 第27-28页 |
| 2.3 组织结构分析方法 | 第28-29页 |
| 2.3.1 XRD物相分析 | 第28页 |
| 2.3.2 红外光谱分析 | 第28-29页 |
| 2.3.3 扫描电镜分析(SEM) | 第29页 |
| 2.4 性能测试方法 | 第29-32页 |
| 2.4.1 致密度 | 第29页 |
| 2.4.2 Zeta电位分析 | 第29页 |
| 2.4.3 浆料的粘度、流变性分析 | 第29-30页 |
| 2.4.4 孔径分布测试 | 第30页 |
| 2.4.5 热重-差热分析(TG-DTA) | 第30页 |
| 2.4.6 热导率 | 第30页 |
| 2.4.7 介电损耗及介电常数 | 第30-32页 |
| 第3章 AlN生带的水基流延制备工艺研究 | 第32-48页 |
| 3.1 AlN粉体的表面预处理 | 第32-35页 |
| 3.1.1 AlN粉体的表面改性机理及方法 | 第32-33页 |
| 3.1.2 AlN悬浮液的p H值分析 | 第33-34页 |
| 3.1.3 改性AlN粉末的XRD谱图分析 | 第34-35页 |
| 3.1.4 AlN粉体表面改性后的红外光谱分析 | 第35页 |
| 3.2 AlN浆料的制备 | 第35-42页 |
| 3.2.1 AlN浆料的稳定性分析 | 第35-37页 |
| 3.2.2 分散剂含量对AlN悬浮液粘度的影响 | 第37-38页 |
| 3.2.3 固相含量对AlN悬浮液粘度的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.4 粘接剂含量对AlN浆料流变特性的影响 | 第39-40页 |
| 3.2.5 R值(增塑剂/粘结剂)对浆料流变特性的影响 | 第40-41页 |
| 3.2.6 固相含量对浆料流变特性的影响 | 第41-42页 |
| 3.3 AlN生带的制备与表征 | 第42-46页 |
| 3.3.1 AlN生带的制备与微观形貌 | 第42-43页 |
| 3.3.2 生带的密度及气孔分布 | 第43-44页 |
| 3.3.3 生带的排胶工艺研究 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 AlN陶瓷的SPS制备及其组织性能表征 | 第48-74页 |
| 4.1 AlN陶瓷的成分设计及其SPS烧结工艺 | 第48-49页 |
| 4.2 稀土烧结助剂对AlN陶瓷致密化与组织的影响 | 第49-66页 |
| 4.2.1 烧结助剂类型对AlN陶瓷致密化过程的影响 | 第49-52页 |
| 4.2.2 烧结助剂含量对AlN陶瓷致密化过程影响 | 第52-53页 |
| 4.2.3 不同烧结助剂含量对AlN物相组成的影响 | 第53-55页 |
| 4.2.4 不同烧结助剂含量对AlN陶瓷显微组织影响 | 第55-61页 |
| 4.2.5 稀土烧结助剂类型对AlN陶瓷性能的影响 | 第61-66页 |
| 4.3 烧结温度对AlN陶瓷组织与性能的影响 | 第66-67页 |
| 4.4 保温时间对AlN陶瓷组织与性能的影响 | 第67-69页 |
| 4.5 多层AlN陶瓷基片共烧工艺的研究 | 第69-73页 |
| 4.5.1 成分设计 | 第69-70页 |
| 4.5.2 金属与AlN生带叠压后的排胶工艺 | 第70-72页 |
| 4.5.3 多层AlN陶瓷基片的组织结构分析 | 第72-73页 |
| 4.6 本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
