基于纳机电系统的微小质量检测方法研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 纳机电系统(NEMS)概述 | 第9-12页 |
| 1.2.1 NEMS的概念及器件特性 | 第9-11页 |
| 1.2.2 NEMS器件的应用领域及前景 | 第11-12页 |
| 1.3 课题研究背景 | 第12-19页 |
| 1.3.1 微小质量检测国内外研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3.2 纳米梁/线谐振器的微小质量检测方法 | 第13-19页 |
| 1.4 本论文的主要内容 | 第19-21页 |
| 第二章 NEMS谐振器检测微小质量的相关理论 | 第21-27页 |
| 2.1 NEMS谐振器检测微小质量的基本原理 | 第21-25页 |
| 2.1.1 梁谐振的基本原理 | 第21-23页 |
| 2.1.2 微小质量检测的基本原理 | 第23-25页 |
| 2.2 NEMS谐振器检测微小质量的困难点 | 第25-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 NEMS谐振器的驱动方法及结构设计 | 第27-39页 |
| 3.1 NEMS谐振器的驱动方法 | 第27-31页 |
| 3.1.1 NEMS谐振器的主要驱动和检测方法 | 第27-29页 |
| 3.1.2 NEMS谐振器的静电驱动原理 | 第29-31页 |
| 3.2 NEMS梁结构的设计 | 第31-33页 |
| 3.3 NEMS梁的谐振频率仿真 | 第33-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 NEMS谐振器的压阻设计及制作工艺 | 第39-57页 |
| 4.1 压阻环的设计及仿真 | 第39-51页 |
| 4.1.1 压阻理论基础 | 第39-44页 |
| 4.1.2 压阻环的有限元仿真 | 第44-51页 |
| 4.2 硅纳米梁谐振器的制作工艺 | 第51-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-57页 |
| 第五章 预检测电路的设计及测试 | 第57-71页 |
| 5.1 预检测电路设计及仿真 | 第57-67页 |
| 5.1.1 差频检测电路原理 | 第57-61页 |
| 5.1.2 电路仿真结果及讨论 | 第61-66页 |
| 5.1.3 PCB基板的设计 | 第66-67页 |
| 5.2 预检测电路的测试结果及讨论 | 第67-69页 |
| 5.3 本章小结 | 第69-71页 |
| 第六章 工作总结与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 工作总结 | 第71页 |
| 6.2 前景展望 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 攻读硕士期间发表论文和申请专利 | 第81页 |
