| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.3 国内外研究现状分析 | 第15-16页 |
| 1.3 课题来源及主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 电容式单质量三轴加速度计的结构设计 | 第18-41页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 电容式单质量三轴加速度计的整体结构设计及检测原理 | 第18-26页 |
| 2.2.1 电容式单质量三轴加速度计的整体结构设计 | 第18-25页 |
| 2.2.2 电容式单质量三轴加速度计的检测原理及耦合分析 | 第25-26页 |
| 2.3 电容式单质量三轴加速度计的弹性梁设计 | 第26-31页 |
| 2.3.1 弹性梁的选择 | 第26-27页 |
| 2.3.2 一字梁的刚度公式推导 | 第27-31页 |
| 2.4 电容式单质量三轴加速度计的检测梳齿设计 | 第31-34页 |
| 2.5 电容式单质量三轴加速度计的性能参数分析 | 第34-38页 |
| 2.5.1 电容式单质量三轴加速度计的灵敏度分析 | 第34-35页 |
| 2.5.2 电容式单质量三轴加速度计的分辨率分析 | 第35-38页 |
| 2.6 电容式单质量三轴加速度计的尺寸及参数确定 | 第38-40页 |
| 2.7 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 电容式单质量三轴加速度计的仿真验证 | 第41-54页 |
| 3.1 引言 | 第41页 |
| 3.2 电容式单质量三轴加速度计弹性梁的仿真验证 | 第41-46页 |
| 3.2.1 力-位移法 | 第42-43页 |
| 3.2.2 谐振频率法 | 第43-45页 |
| 3.2.3 对比分析 | 第45-46页 |
| 3.3 电容式单质量三轴加速度计振动模态仿真 | 第46-48页 |
| 3.4 电容式单质量三轴加速度计静力学仿真 | 第48-50页 |
| 3.5 电容式单质量三轴加速度计热机械应力仿真 | 第50-53页 |
| 3.5.1 仿真条件分析和模型建立 | 第50-51页 |
| 3.5.2 仿真结果分析 | 第51-53页 |
| 3.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 电容式单质量三轴加速度计的制作工艺 | 第54-64页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 电容式微机械加速度计的版图绘制 | 第54-56页 |
| 4.3 电容式微机械加速度计的制作工艺 | 第56-60页 |
| 4.3.1 表面硅微机械加工技术 | 第56-58页 |
| 4.3.2 电容式微机械加速度计的制作工艺 | 第58-60页 |
| 4.4 制作工艺对微结构性能的影响 | 第60-63页 |
| 4.4.1 感应耦合等离子体刻蚀对微结构性能的影响 | 第60-62页 |
| 4.4.2 释放工艺对微结构性能的影响 | 第62-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 电容式单质量三轴加速度计的性能测试 | 第64-74页 |
| 5.1 引言 | 第64页 |
| 5.2 电容式单质量三轴加速度计静态电容、PULL-IN电压测试 | 第64-68页 |
| 5.2.1 电容式单质量三轴加速度计静态电容测试 | 第64-66页 |
| 5.2.2 电容式单质量三轴加速度计pull-in电压测试 | 第66-68页 |
| 5.3 电容式单质量三轴加速度计动态性能测试 | 第68-73页 |
| 5.3.1 电容式单质量三轴加速度计灵敏度测试 | 第69-72页 |
| 5.3.2 电容式单质量三轴加速度计非线性测试 | 第72-73页 |
| 5.3.3 电容式单质量三轴加速度计噪声测试 | 第73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 总结 | 第74页 |
| 6.2 展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
