利用飞秒激光制备微光栅微透镜的研究
| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 飞秒激光加工技术简介 | 第9-10页 |
| 1.2 飞秒激光在微加工领域的应用 | 第10-13页 |
| 1.2.1 激光烧蚀微加工 | 第11-12页 |
| 1.2.2 双光子聚合微加工 | 第12-13页 |
| 1.3 制备微光栅微透镜阵列的发展现状 | 第13-18页 |
| 1.3.1 光栅的制备进展 | 第13-15页 |
| 1.3.2 微透镜的制备进展 | 第15-18页 |
| 1.4 本课题的目的与意义 | 第18-19页 |
| 第2章 飞秒激光与物质作用的原理 | 第19-27页 |
| 2.1 飞秒激光与介质材料的作用原理 | 第19-24页 |
| 2.1.1 飞秒激光脉冲的特征及传输 | 第19-21页 |
| 2.1.2 多光子电离和雪崩电离 | 第21-23页 |
| 2.1.3 库仑爆炸 | 第23页 |
| 2.1.4 双光子聚合 | 第23-24页 |
| 2.2 飞秒激光与物质作用产生的效果 | 第24-26页 |
| 2.2.1 激光烧蚀 | 第24页 |
| 2.2.2 微爆炸 | 第24-25页 |
| 2.2.3 色心缺陷 | 第25页 |
| 2.2.4 折射率改变 | 第25-26页 |
| 2.2.5 自组装周期结构 | 第26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 飞秒激光制备微光栅 | 第27-43页 |
| 3.1 飞秒激光三维微加工实验系统 | 第27-31页 |
| 3.1.1 飞秒激光光源 | 第28-30页 |
| 3.1.2 光路传输单元 | 第30页 |
| 3.1.3 显微镜系统 | 第30-31页 |
| 3.1.4 三维移动平台 | 第31页 |
| 3.2 PC材料的特性 | 第31-32页 |
| 3.3 加工参数对光栅表面形貌的影响 | 第32-36页 |
| 3.3.1 光栅线宽与数值孔径的关系 | 第33-35页 |
| 3.3.2 光栅线宽与激光能量的关系 | 第35-36页 |
| 3.4 双光束干涉原理 | 第36-37页 |
| 3.5 干涉法制备微光栅的前期准备 | 第37-39页 |
| 3.5.1 实验装置 | 第37-38页 |
| 3.5.2 工艺过程 | 第38-39页 |
| 3.6 干涉法制备微光栅的数据研究 | 第39-42页 |
| 3.7 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 飞秒激光制备微透镜阵列的研究 | 第43-60页 |
| 4.1 直写微凹透镜阵列的原理 | 第43-44页 |
| 4.2 材料的选择 | 第44-50页 |
| 4.2.1 加工参量对PMMA形貌的影响 | 第44-46页 |
| 4.2.2 加工参量对PC形貌的影响 | 第46-49页 |
| 4.2.3 PMMA与PC材料的对比研究 | 第49-50页 |
| 4.3 微透镜阵列的表面形貌研究 | 第50-56页 |
| 4.3.1 微透镜直径与激光能量的关系 | 第51-54页 |
| 4.3.2 微透镜直径与数值孔径的关系 | 第54-56页 |
| 4.4 实验结果理论分析 | 第56-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
