摘要 | 第4-5页 |
英文摘要 | 第5-6页 |
第一章 绪论 | 第8-14页 |
1.1 研究背景 | 第8-9页 |
1.2 纳米薄膜弯曲的研究现状 | 第9-11页 |
1.3 吸附对薄膜表面性质的影响研究现状 | 第11-13页 |
1.4 论文内容安排 | 第13-14页 |
第二章 纳米薄膜弹性力学的基本理论 | 第14-29页 |
2.1 不同晶向薄膜的弹性能 | 第14-16页 |
2.1.1 (100)立方体的弹性能密度 | 第15页 |
2.1.2 (110)立方体的弹性能密度 | 第15-16页 |
2.1.3 (111)立方体弹性能密度 | 第16页 |
2.2 不同晶向薄膜的杨氏模量和泊松比 | 第16-19页 |
2.2.1 立方结构(100)薄膜的杨氏模量和泊松比 | 第16-17页 |
2.2.2 立方结构(110)薄膜的杨氏模量和泊松比 | 第17-18页 |
2.2.3 立方结构(111)薄膜的杨氏模量和泊松比 | 第18-19页 |
2.3 表面效应对纳米薄膜力学性质的影响 | 第19-25页 |
2.3.1 引入表面弹性 | 第20-21页 |
2.3.2 (100)晶向立方薄膜的杨氏模量和泊松比 | 第21-22页 |
2.3.3 (110)晶向立方薄膜的杨氏模量和泊松比 | 第22-23页 |
2.3.4 (111)晶向立方薄膜的杨氏模量和泊松比 | 第23-25页 |
2.4 纳米薄膜的杨氏模量 | 第25-29页 |
第三章 不同晶向的立方固体薄膜的弯曲特性 | 第29-42页 |
3.1 表面应力引起的不同晶向的纳米单层薄膜的弯曲 | 第29-31页 |
3.2 纳米超薄膜随薄膜厚度变化的弯曲性质 | 第31-37页 |
3.2.1 硅纳米超薄膜的弯曲 | 第31-34页 |
3.2.2 金属纳米薄膜的弯曲 | 第34-37页 |
3.3 纳米超薄膜随吸附诱导的表面应力的弯曲性质 | 第37-42页 |
第四章 总结与展望 | 第42-44页 |
4.1 全文总结 | 第42-43页 |
4.2 后续工作与展望 | 第43-44页 |
参考文献 | 第44-48页 |
致谢 | 第48页 |