| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 LED散热技术 | 第10-16页 |
| 1.1.1 LED散热问题 | 第10页 |
| 1.1.2 LED散热研究 | 第10-16页 |
| 1.2 平板微热管散热技术及发展现状 | 第16-20页 |
| 1.2.1 平板微热管散热技术发展 | 第16-18页 |
| 1.2.2 改善微热管性能方法 | 第18-20页 |
| 1.3 蒸汽腔热管散热技术及发展现状 | 第20-21页 |
| 1.4 课题研究背景及来源 | 第21-22页 |
| 1.5 论文主要研究工作 | 第22-24页 |
| 2 集成平板槽道微热管的LED硅基板研制 | 第24-37页 |
| 2.1 集成平板槽道微热管的LED硅基板设计和掩模制作 | 第24-26页 |
| 2.1.1 LED基座与电极的设计和掩模制作 | 第24-25页 |
| 2.1.2 平板槽道微热管设计和掩模制作 | 第25-26页 |
| 2.2 平板槽道微热管管体加工工艺 | 第26-32页 |
| 2.2.1 微槽道硅基板加工 | 第26-30页 |
| 2.2.2 Pyrex7740玻璃盖片制作 | 第30-31页 |
| 2.2.3 平板槽道微热管静电键合 | 第31-32页 |
| 2.3 LED模组基座及电极加工工艺 | 第32-33页 |
| 2.4 硅-玻璃平板槽道微热管灌封 | 第33-35页 |
| 2.4.1 二次抽真空灌封技术 | 第33-34页 |
| 2.4.2 抽真空灌注冷焊封接方法 | 第34-35页 |
| 2.4.3 气相温控灌封方法 | 第35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 3 LED硅基板上平板微热管槽道毛细牵引力优化 | 第37-50页 |
| 3.1 微槽道结构和尺寸优化 | 第37-41页 |
| 3.1.1 微槽道形状和尺寸优化 | 第37-40页 |
| 3.1.2 微槽道截面形状优化 | 第40-41页 |
| 3.2 铜结构微热管槽道毛细牵引力优化 | 第41-46页 |
| 3.2.1 微槽道表面电铸铜柱 | 第41-43页 |
| 3.2.2 硅基板表面电铸铜微槽道 | 第43-46页 |
| 3.3 石墨烯表面改性优化毛细牵引力 | 第46-49页 |
| 3.3.1 石墨烯纳米悬浮液制备 | 第46页 |
| 3.3.2 硅微槽道沉积石墨烯实验 | 第46-48页 |
| 3.3.3 硅微槽道石墨烯结合力测试 | 第48页 |
| 3.3.4 硅微槽道石墨烯接触角测量 | 第48-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 集成蒸汽腔微热管的LED硅基板研制 | 第50-56页 |
| 4.1 集成蒸汽腔微热管的LED硅基板的设计和掩模制作 | 第50-52页 |
| 4.1.1 硅基LED基座与电极的设计和掩模制作 | 第50-51页 |
| 4.1.2 蒸汽腔微热管设计和掩模制作 | 第51-52页 |
| 4.2 LED模组硅基板与蒸汽腔微热管的集成制造工艺 | 第52-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 集成微热管的LED硅基板的导热性能测试及结果分析 | 第56-68页 |
| 5.1 集成微热管的LED硅基板导热性能测试平台 | 第56-58页 |
| 5.1.1 集成微热管的LED硅基板测试平台组成 | 第56-57页 |
| 5.1.2 集成微热管的LED硅基板的测试原理 | 第57-58页 |
| 5.2 集成平板槽道微热管的LED硅基板测试及结果分析 | 第58-66页 |
| 5.2.1 微槽道形状和尺寸优化的平板槽道微热管测试及结果分析 | 第58-61页 |
| 5.2.2 微槽道不同表面微结构的平板槽道微热管测试及结果分析 | 第61-64页 |
| 5.2.3 微槽道石墨烯改性的平板槽道微热管 | 第64-66页 |
| 5.3 集成蒸汽腔微热管的LED硅基板测试及结果分析 | 第66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
