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AlN压电薄膜及AlN/FeNi异质结的制备和性能研究

中文摘要第3-4页
Abstract第4-5页
第一章 绪论第8-23页
    1.1 综述第8-9页
    1.2 磁性存储第9-11页
    1.3 压电效应和磁电复合材料第11-17页
        1.3.1 压电效应第11-12页
        1.3.2 磁电复合材料第12-17页
            1.3.2.1 磁电效应第12-13页
            1.3.2.2 磁致伸缩效应第13-15页
            1.3.2.3 磁电复合材料第15-17页
    1.4 电场调控磁性第17-20页
    1.5 本论文的主要思路和内容第20-21页
    参考文献第21-23页
第二章 实验技术第23-32页
    2.1 AlN薄膜的制备技术第23-24页
        2.1.1 化学气相沉积第23页
        2.1.2 分子束外延第23页
        2.1.3 激光脉冲沉积第23-24页
        2.1.4 反应磁控溅射第24页
    2.2 样品的表征和测量第24-31页
        2.2.1 X射线衍射—XRD第24-25页
        2.2.2 原子力显微镜—AFM第25-26页
        2.2.3 扫描电子显微镜—SEM第26-27页
        2.2.4 振动样品磁强计—VSM第27-28页
        2.2.5 电子自旋共振—ESR第28-29页
        2.2.6 各向异性磁电阻测试仪—AMR第29页
        2.2.7 磁光克尔效应测量仪—NanoMOKE第29-31页
    参考文献第31-32页
第三章 C轴取向AlN薄膜的制备及复合材料的界面探究第32-49页
    3.1 直流和射频溅射制备C轴取向AlN薄膜第32-36页
    3.2 AlN/FeNi复合磁电材料的制备和界面探究第36-47页
    参考文献第47-49页
第四章 电场调控AlN/FeNi异质结的磁矩翻转第49-55页
    4.1 利用磁光克尔效应研究磁电调控第49-51页
    4.2 电场调控磁电阻第51-54页
    参考文献第54-55页
第五章 总结第55-56页
    5.1 工作总结第55页
    5.2 展望第55-56页
附录 Gd掺杂FeCo薄膜的磁性和磁化翻转机制研究第56-64页
    1.样品制备第56-57页
    2.样品表征和分析第57-62页
    3.小结第62-63页
    参考文献第63-64页
致谢第64-65页
在学期间的研究成果第65页

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