| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 引言 | 第10-12页 |
| 1.2 TiO_2性质介绍以及应用 | 第12-13页 |
| 1.2.1 TiO_2性质以及其光催化研究 | 第12-13页 |
| 1.2.2 TiO_2在不同领域的应用 | 第13页 |
| 1.3 TiO_2薄膜的常见制备方法 | 第13-14页 |
| 1.4 实验所用材料及制备原理 | 第14页 |
| 1.5 本文选题思路和研究内容 | 第14-16页 |
| 1.5.1 选题思路 | 第14-15页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 TiO_2薄膜的制备及表征方法 | 第16-23页 |
| 2.1 氧化钛靶材制备简介 | 第16-17页 |
| 2.2 磁控溅射技术简介 | 第17-18页 |
| 2.3 薄膜检测方法介绍 | 第18-20页 |
| 2.3.1 XRD检测 | 第18-19页 |
| 2.3.2 原子力显微镜 | 第19-20页 |
| 2.3.3 X光电子能谱和激光拉曼 | 第20页 |
| 2.3.4 紫外-可见光光度计检测 | 第20页 |
| 2.4 光催化原理简介 | 第20-23页 |
| 2.4.1 TiO_2降解甲基橙原理 | 第20-22页 |
| 2.4.2 光催化实验原理 | 第22-23页 |
| 第三章 C-Mo共掺杂TiO_2薄膜制备及其光催化性能 | 第23-34页 |
| 3.1 TiO_2掺杂的研究进展 | 第23-24页 |
| 3.1.1 TiO_2单掺杂的研究 | 第23-24页 |
| 3.1.2 TiO_2双掺杂的研究 | 第24页 |
| 3.2 样品制备 | 第24-26页 |
| 3.2.1 掺杂靶材的制备 | 第24页 |
| 3.2.2 掺杂薄膜的制备 | 第24-26页 |
| 3.3 XRD检测与分析 | 第26-27页 |
| 3.4 Raman检测与分析 | 第27-28页 |
| 3.5 XPS检测与分析 | 第28-30页 |
| 3.6 紫外可见光透光实验与分析 | 第30-32页 |
| 3.7 薄膜光催化实验与分析 | 第32-33页 |
| 3.8 本章总结 | 第33-34页 |
| 第四章 Ag/TiO_2复合薄膜制备及其光催化性能 | 第34-42页 |
| 4.1 Ag-TiO_2复合膜的介绍 | 第34页 |
| 4.2 Ag-TiO_2复合薄膜的制备 | 第34-35页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第35-39页 |
| 4.3.1 XRD检测与分析 | 第35-36页 |
| 4.3.2 吸收谱检测与分析 | 第36-37页 |
| 4.3.3 紫外及可见光透射谱 | 第37页 |
| 4.3.4 SEM检测与分析 | 第37-38页 |
| 4.3.5 AFM检测与分析 | 第38-39页 |
| 4.4 Ag-TiO_2复合薄膜光催化性能检测 | 第39-40页 |
| 4.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 第五章 FTO衬底上TiO_2薄膜的制备及其光催化性能 | 第42-65页 |
| 5.1 溅射时间对薄膜的影响 | 第42-46页 |
| 5.1.1 XRD检测与分析 | 第42页 |
| 5.1.2 薄膜透过谱检测与分析 | 第42-43页 |
| 5.1.3 薄膜吸收谱检测与分析 | 第43-44页 |
| 5.1.4 AFM检测与分析 | 第44-45页 |
| 5.1.5 光催化实验探究 | 第45-46页 |
| 5.2 溅射压强对薄膜的影响 | 第46-50页 |
| 5.2.1 XRD检测与分析 | 第46-47页 |
| 5.2.2 薄膜透过谱检测与分析 | 第47-48页 |
| 5.2.3 薄膜吸收谱检测与分析 | 第48页 |
| 5.2.4 AFM检测与分析 | 第48-49页 |
| 5.2.5 光催化实验探究 | 第49-50页 |
| 5.3 溅射功率对薄膜的影响 | 第50-55页 |
| 5.3.1 XRD检测与分析 | 第50-51页 |
| 5.3.2 薄膜透过谱检测与分析 | 第51-52页 |
| 5.3.3 薄膜吸收谱检测与分析 | 第52-53页 |
| 5.3.4 AFM检测与分析 | 第53-54页 |
| 5.3.5 光催化实验探究 | 第54-55页 |
| 5.4 衬底对薄膜的影响 | 第55-59页 |
| 5.4.1 XRD检测与分析 | 第55-56页 |
| 5.4.2 薄膜透过谱检测与分析 | 第56-57页 |
| 5.4.3 薄膜吸收谱检测与分析 | 第57-58页 |
| 5.4.4光催化实验探究 | 第58-59页 |
| 5.5温度对薄膜的影响 | 第59-64页 |
| 5.5.1 XRD检测与分析 | 第59-60页 |
| 5.5.2 薄膜透过谱检测与分析 | 第60-61页 |
| 5.5.3 薄膜吸收谱检测与分析 | 第61-62页 |
| 5.5.4 AFM检测与分析 | 第62页 |
| 5.5.5 光催化实验探究 | 第62-64页 |
| 5.6 本章总结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
