反射式样板刻线轮廓自动检测装置研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第14-20页 |
| 1.1 研究的背景及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.1 高精度尺寸测量国内外研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.2 微观表面形貌测量技术的发展状况 | 第17-18页 |
| 1.3 本文的研究目标和主要内容 | 第18-20页 |
| 2 实验系统的硬件搭建及工作原理 | 第20-36页 |
| 2.1 激光自调焦传感器的工作原理 | 第20-23页 |
| 2.2 图像对焦原理 | 第23-25页 |
| 2.3 图像调焦评价算法综述 | 第25-29页 |
| 2.3.1 时域分析法 | 第25-27页 |
| 2.3.2 基于频域的分析方法 | 第27-28页 |
| 2.3.3 信息学评价方法 | 第28页 |
| 2.3.4 基于统计学的评价方法 | 第28-29页 |
| 2.4 激光自调焦试验台的搭建 | 第29-34页 |
| 2.4.1 系统软件界面设计 | 第31-34页 |
| 2.4.2 串口通信的工作原理 | 第34页 |
| 2.5 影响系统测量精度的因素 | 第34页 |
| 2.6 总结 | 第34-36页 |
| 3 仪器的精度标定与重复性检测 | 第36-49页 |
| 3.1 台阶规（阶梯规）的标定 | 第36-41页 |
| 3.1.1 台阶规的偏差检测 | 第38页 |
| 3.1.2 台阶规表面重复性检测 | 第38页 |
| 3.1.3 实验小结 | 第38-41页 |
| 3.2 标准样板的设计与制作 | 第41-46页 |
| 3.2.1 样板数据的采集 | 第42-46页 |
| 3.3 位移台修正和补偿 | 第46-48页 |
| 3.4 本章总结 | 第48-49页 |
| 4 基于CCD的二维样板检测 | 第49-62页 |
| 4.1 硬件设备的搭建和工作原理 | 第49-50页 |
| 4.1.1 CCD的基本原理 | 第49-50页 |
| 4.2 基于CCD图像采样的仪器系统搭建 | 第50-51页 |
| 4.3 软件控制的设计 | 第51页 |
| 4.4 图像采集与图像处理 | 第51-57页 |
| 4.4.1 采样窗体的确认 | 第52-53页 |
| 4.4.2 图像的直方图显示 | 第53-54页 |
| 4.4.3 图像阈值变换 | 第54页 |
| 4.4.4 边缘位置的提取以及边缘亚像素定位 | 第54-56页 |
| 4.4.5 测量原理 | 第56-57页 |
| 4.5 基于CCD微观视觉处理的软件设计 | 第57-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 5 基于二维样板采集数据的分析 | 第62-68页 |
| 5.1 实验数据的预处理 | 第62-65页 |
| 5.1.1 图像的坐标轴转换 | 第62-63页 |
| 5.1.2 边缘异常值的剔除 | 第63-65页 |
| 5.2 最小二乘拟合 | 第65-67页 |
| 5.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 6 总结与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 全文总结 | 第68-69页 |
| 6.2 工作展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 附录A 异常值剔除的核心源代码 | 第74-76页 |
| 附录B 亚像素边缘提取的核心源代码 | 第76-78页 |
| 作者简历 | 第78页 |
