| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 缩略语对照表 | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-26页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 仿壁虎脚毛粘附机理的研究 | 第15-17页 |
| 1.2.1 壁虎脚掌的粘附机制 | 第15-16页 |
| 1.2.2 仿壁虎刚毛粘附的力学性能 | 第16-17页 |
| 1.3 仿壁虎脚掌阵列结构的研究现状 | 第17-22页 |
| 1.4 柔性可拉伸微电极阵列的研究进展 | 第22-24页 |
| 1.5 论文的研究内容 | 第24-26页 |
| 第二章 基于SU-8 光刻胶工艺制作仿壁虎刚毛纤维阵列 | 第26-38页 |
| 2.1 SU-8 光刻胶工艺的研究 | 第26-27页 |
| 2.2 基于SU-8 光刻胶模具的阵列制作工艺 | 第27-37页 |
| 2.2.1 基于SU-8 光刻胶模具阵列的制作步骤 | 第27-30页 |
| 2.2.2 实验材料，试剂原料与设备 | 第30页 |
| 2.2.3 SU-8 光刻实验 | 第30-36页 |
| 2.2.4 实验结果分析 | 第36-37页 |
| 2.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 基于ICP刻蚀硅模具制作仿壁虎刚毛纤维阵列 | 第38-48页 |
| 3.1 含有微米孔阵列的模具制作 | 第38-41页 |
| 3.1.1 基于IPC干刻蚀工艺的研究 | 第38-40页 |
| 3.1.2 硅小孔阵列模具的制作 | 第40-41页 |
| 3.2 PDMS纤维阵列的制作 | 第41-46页 |
| 3.2.1 PDMS的性能 | 第41-42页 |
| 3.2.2 实验的材料，设备，试剂 | 第42-43页 |
| 3.2.3 PDMS阵列制作实验 | 第43-44页 |
| 3.2.4 实验结果分析 | 第44-46页 |
| 3.3 PDMS纤维阵列的粘附性测试 | 第46-47页 |
| 3.4 小结 | 第47-48页 |
| 第四章 柔性可拉伸心电微电极阵列的研究 | 第48-60页 |
| 4.1 心电微电极阵列的研究 | 第48-50页 |
| 4.2 柔性心电微电极阵列的制作工艺 | 第50-52页 |
| 4.2.1 柔性心电微电极阵列的设计 | 第50-51页 |
| 4.2.2 柔性心电微电极阵列的加工 | 第51-52页 |
| 4.3 柔性微电极的性能 | 第52-54页 |
| 4.3.1 柔性电极的可拉伸性能 | 第52-54页 |
| 4.3.2 柔性电极的阻抗性能 | 第54页 |
| 4.4 柔性微心电电极的信号采集 | 第54-58页 |
| 4.4.1 心电信号的机理 | 第54-55页 |
| 4.4.2 心电信号的特性 | 第55页 |
| 4.4.3 心电信号的采集 | 第55-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-64页 |
| 5.1 全文总结 | 第60-61页 |
| 5.2 本文的创新点 | 第61页 |
| 5.3 工作展望 | 第61-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 作者简介 | 第70-71页 |
