| 摘要 | 第11-13页 |
| Abstract | 第13-15页 |
| 第1章 绪论 | 第16-28页 |
| 1.1 石英玻璃的特性及应用 | 第16页 |
| 1.2 石英玻璃的超精密加工现状 | 第16-19页 |
| 1.2.1 石英玻璃的机械加工现状 | 第16-17页 |
| 1.2.2 石英玻璃的激光加工现状 | 第17-19页 |
| 1.3 石英玻璃的低应力处理工艺研究现状 | 第19-25页 |
| 1.3.1 石英玻璃低应力处理实验研究 | 第20-23页 |
| 1.3.2 石英玻璃残余应力的仿真研究 | 第23-24页 |
| 1.3.3 石英玻璃残余应力检测技术现状 | 第24-25页 |
| 1.4 存在的问题 | 第25页 |
| 1.5 本文的研究目的、意义及主要研究内容 | 第25-28页 |
| 1.5.1 研究目的和意义 | 第25-26页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 石英玻璃表面磨削裂纹的激光修复工艺研究 | 第28-50页 |
| 2.1 激光修复实验平台的构建 | 第28-31页 |
| 2.1.1 总体方案设计 | 第28页 |
| 2.1.2 激光器和光路 | 第28-30页 |
| 2.1.3 运动平台 | 第30页 |
| 2.1.4 激光器与运动平台的匹配 | 第30-31页 |
| 2.2 石英玻璃表面磨削裂纹的激光修复机理 | 第31-38页 |
| 2.2.1 表面磨削裂纹的激光修复表面粗糙度 | 第31-34页 |
| 2.2.2 表面磨削裂纹的激光修复机理 | 第34-37页 |
| 2.2.3 亚表面微裂纹的激光修复表面粗糙度 | 第37-38页 |
| 2.3 激光修复石英玻璃温度场的有限元分析 | 第38-44页 |
| 2.3.1 有限元建模 | 第39-40页 |
| 2.3.2 激光修复石英玻璃温度场有限元分析结果 | 第40-44页 |
| 2.4 石英玻璃表面磨削裂纹的激光修复工艺参数对修复表面粗糙度的影响 | 第44-48页 |
| 2.4.1 光斑直径对修复表面粗糙度的影响 | 第44-46页 |
| 2.4.2 扫描速度对修复表面粗糙度的影响 | 第46-47页 |
| 2.4.3 扫描间隔对修复表面粗糙度的影响 | 第47-48页 |
| 2.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第3章 修复后的石英玻璃表面的激光加热去应力工艺研究 | 第50-64页 |
| 3.1 前言 | 第50-51页 |
| 3.2 修复后的石英玻璃表面的残余应力分析 | 第51-57页 |
| 3.2.1 石英玻璃本构模型的确定 | 第51-53页 |
| 3.2.2 修复后的石英玻璃表面的残余应力有限元模型 | 第53-54页 |
| 3.2.3 激光单道辐照修复时石英玻璃表面的残余应力分析结果 | 第54-55页 |
| 3.2.4 激光单道辐照修复时石英玻璃表面的残余应力分析结果的验证 | 第55-57页 |
| 3.3 激光修复工艺参数对石英玻璃表面残余应力的影响 | 第57-60页 |
| 3.3.1 光斑直径对残余应力的影响 | 第57-59页 |
| 3.3.2 扫描速度对残余应力的影响 | 第59-60页 |
| 3.4 修复后的石英玻璃表面的激光加热去应力研究 | 第60-63页 |
| 3.4.1 激光加热去应力工艺的有限元分析 | 第60-62页 |
| 3.4.2 激光加热去应力工艺的实验研究 | 第62-63页 |
| 3.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 修复后的石英玻璃表面的电热低温加热去应力工艺研究 | 第64-76页 |
| 4.1 前言 | 第64-65页 |
| 4.2 电热低温加热去应力工艺研究 | 第65-70页 |
| 4.2.1 电热低温加热去应力的有限元分析 | 第66-69页 |
| 4.2.2 电热低温加热去应力实验研究 | 第69-70页 |
| 4.3 微波加热介质对石英玻璃表面污染的实验研究 | 第70-74页 |
| 4.4 本章小结 | 第74-76页 |
| 结论和展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 附件 | 第87页 |
