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基于双光栅干涉技术的焦距测量系统设计及其关键技术研究

摘要第3-4页
ABSTRACT第4页
1 绪论第7-17页
    1.1 课题的研究背景及意义第7-8页
    1.2 国内外发展现状及趋势第8-15页
        1.2.1 中等焦距测量方法第8-13页
        1.2.2 双光栅干涉法测量中等焦距第13-14页
        1.2.3 各种焦距测量方法总结第14-15页
    1.3 课题来源第15页
    1.4 论文的主要研究内容第15-17页
2 焦距测量系统基本结构与原理第17-28页
    2.1 双光栅干涉光强分布第17-21页
    2.2 双光栅衍射成像特性分析第21-25页
    2.3 焦距测量公式优化第25-27页
    2.4 本章小结第27-28页
3 焦距测量系统的设计与误差分析第28-47页
    3.1 焦距测量系统的总体构成第28-29页
    3.2 系统结构分析及几何参数设计第29-34页
        3.2.1 系统测量范围第29-31页
        3.2.2 系统测量灵敏度第31-32页
        3.2.3 相对测量误差第32-34页
    3.3 误差分析第34-44页
        3.3.1 干涉条纹零位误差第34-35页
        3.3.2 干涉条纹角度求解误差影响分析第35-37页
        3.3.3 双光栅干涉系统的装调误差分析第37-44页
    3.4 系统组成部分设计第44-46页
        3.4.1 双光栅干涉仪第44页
        3.4.2 成像采集系统第44-46页
    3.5 本章小结第46-47页
4 焦距非相关最小二乘定标校准技术第47-60页
    4.1 最小二乘辨识方法第47-49页
    4.2 焦距非相关最小二乘组合定标技术研究第49-56页
        4.2.1 平面波最小二乘定标校准第50-52页
        4.2.2 长、短焦透镜焦距非相关组合定标第52-54页
        4.2.3 基于焦距测量相似度函数的系统优化校准第54-56页
    4.3 系统组合定标实验及测量结果验证第56-59页
        4.3.1 组合定标实验第56-58页
        4.3.2 定标后对焦距5m的透镜进行测量结果验证第58页
        4.3.3 定标后对焦距38m的透镜进行测量结果验证第58页
        4.3.4 定标后对焦距59m的透镜进行测量结果验证第58-59页
    4.4 本章小结第59-60页
5 实验结果与分析第60-69页
    5.1 测量光路第60-61页
    5.2 焦距测量软件第61-63页
    5.3 实验测量第63-68页
        5.3.1 焦距设计值4947.96mm的中等焦距透镜测量结果第64-65页
        5.3.2 焦距设计值38059.52mm的长焦距透镜测量结果第65-66页
        5.3.3 焦距设计值59418.2mm的长焦距透镜测量结果第66-68页
    5.4 本章小结第68-69页
6 总结与展望第69-71页
致谢第71-72页
参考文献第72-76页
附录第76页

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