| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外发展现状及趋势 | 第8-15页 |
| 1.2.1 中等焦距测量方法 | 第8-13页 |
| 1.2.2 双光栅干涉法测量中等焦距 | 第13-14页 |
| 1.2.3 各种焦距测量方法总结 | 第14-15页 |
| 1.3 课题来源 | 第15页 |
| 1.4 论文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 2 焦距测量系统基本结构与原理 | 第17-28页 |
| 2.1 双光栅干涉光强分布 | 第17-21页 |
| 2.2 双光栅衍射成像特性分析 | 第21-25页 |
| 2.3 焦距测量公式优化 | 第25-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 焦距测量系统的设计与误差分析 | 第28-47页 |
| 3.1 焦距测量系统的总体构成 | 第28-29页 |
| 3.2 系统结构分析及几何参数设计 | 第29-34页 |
| 3.2.1 系统测量范围 | 第29-31页 |
| 3.2.2 系统测量灵敏度 | 第31-32页 |
| 3.2.3 相对测量误差 | 第32-34页 |
| 3.3 误差分析 | 第34-44页 |
| 3.3.1 干涉条纹零位误差 | 第34-35页 |
| 3.3.2 干涉条纹角度求解误差影响分析 | 第35-37页 |
| 3.3.3 双光栅干涉系统的装调误差分析 | 第37-44页 |
| 3.4 系统组成部分设计 | 第44-46页 |
| 3.4.1 双光栅干涉仪 | 第44页 |
| 3.4.2 成像采集系统 | 第44-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 4 焦距非相关最小二乘定标校准技术 | 第47-60页 |
| 4.1 最小二乘辨识方法 | 第47-49页 |
| 4.2 焦距非相关最小二乘组合定标技术研究 | 第49-56页 |
| 4.2.1 平面波最小二乘定标校准 | 第50-52页 |
| 4.2.2 长、短焦透镜焦距非相关组合定标 | 第52-54页 |
| 4.2.3 基于焦距测量相似度函数的系统优化校准 | 第54-56页 |
| 4.3 系统组合定标实验及测量结果验证 | 第56-59页 |
| 4.3.1 组合定标实验 | 第56-58页 |
| 4.3.2 定标后对焦距5m的透镜进行测量结果验证 | 第58页 |
| 4.3.3 定标后对焦距38m的透镜进行测量结果验证 | 第58页 |
| 4.3.4 定标后对焦距59m的透镜进行测量结果验证 | 第58-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 5 实验结果与分析 | 第60-69页 |
| 5.1 测量光路 | 第60-61页 |
| 5.2 焦距测量软件 | 第61-63页 |
| 5.3 实验测量 | 第63-68页 |
| 5.3.1 焦距设计值4947.96mm的中等焦距透镜测量结果 | 第64-65页 |
| 5.3.2 焦距设计值38059.52mm的长焦距透镜测量结果 | 第65-66页 |
| 5.3.3 焦距设计值59418.2mm的长焦距透镜测量结果 | 第66-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 6 总结与展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 附录 | 第76页 |