| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第9页 |
| ·缓蚀剂的研究现状 | 第9-14页 |
| ·缓蚀剂定义 | 第9-10页 |
| ·有机缓蚀剂作用机理 | 第10-11页 |
| ·噻二唑缓蚀剂 | 第11-12页 |
| ·缓蚀机理的理论研究 | 第12-14页 |
| ·缓蚀剂的量子化学研究 | 第12-13页 |
| ·缓蚀剂的分子动力学研究 | 第13-14页 |
| ·研究对象和研究内容 | 第14-16页 |
| ·研究对象 | 第14页 |
| ·研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 理论方法与软件介绍 | 第16-21页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·量子化学方法 | 第16-17页 |
| ·从头算法 | 第16页 |
| ·半经验算法 | 第16页 |
| ·密度泛函理论 | 第16-17页 |
| ·分子力学方法 | 第17-18页 |
| ·分子动力学 | 第18-20页 |
| ·Materials Studio软件 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 噻二唑类缓蚀剂的反应活性研究 | 第21-33页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·量子化学计算方法 | 第21-23页 |
| ·前线轨道理论 | 第21页 |
| ·全局反应活性 | 第21-22页 |
| ·局部反应活性 | 第22-23页 |
| ·结果与讨论 | 第23-31页 |
| ·烷基噻二唑分子的分析 | 第23-27页 |
| ·烷基噻二唑分子的优化结构 | 第23-24页 |
| ·前线轨道及全局活性 | 第24-26页 |
| ·局部反应活性分析 | 第26-27页 |
| ·2-巯基-1,3,4-噻二唑衍生物分子的分析 | 第27-31页 |
| ·2-巯基-1,3,4-噻二唑衍生物分子的优化结构 | 第27-28页 |
| ·前线轨道及全局活性 | 第28-30页 |
| ·局部反应活性分析 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第4章 烷基噻二唑缓蚀剂在Fe(001)表面的吸附模拟 | 第33-45页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·模拟方法及步骤 | 第33-36页 |
| ·吸附表面的选取和构建 | 第33页 |
| ·分子力学模拟 | 第33-34页 |
| ·分子动力学模拟方法 | 第34-36页 |
| ·结果与讨论 | 第36-44页 |
| ·噻二唑分子在Fe(001)表面的自组装成膜 | 第36-37页 |
| ·真空条件下噻二唑分子在Fe(001)表面的吸附 | 第37-40页 |
| ·体系平衡 | 第37-38页 |
| ·噻二唑分子在Fe(001)表面的吸附构型 | 第38-39页 |
| ·噻二唑分子在Fe(001)表面上的吸附强度 | 第39-40页 |
| ·液相条件下噻二唑分子的溶解度参数 | 第40-41页 |
| ·溶解度参数计算方法 | 第40页 |
| ·溶解度参数分析 | 第40-41页 |
| ·液相条件下噻二唑分子在Fe(001)表面的吸附 | 第41-44页 |
| ·体系平衡 | 第41页 |
| ·噻二唑分子在Fe(001)表面的吸附构型 | 第41-42页 |
| ·噻二唑和水分子在Fe(001)表面吸附的能量分析 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 腐蚀介质在噻二唑缓蚀剂膜中的扩散行为 | 第45-54页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·模拟方法及步骤 | 第45-46页 |
| ·结果与讨论 | 第46-53页 |
| ·体系平衡 | 第46-47页 |
| ·腐蚀介质在噻二唑缓蚀剂膜中的扩散 | 第47-49页 |
| ·自由体积分数 | 第49-51页 |
| ·腐蚀粒子与噻二唑缓蚀剂膜的相互作用 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 结论与建议 | 第54-57页 |
| ·结论 | 第54-55页 |
| ·建议 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及研究成果 | 第63页 |
