| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·黑硅简介 | 第7-10页 |
| ·黑硅的发现 | 第7页 |
| ·黑硅新颖的物理特性 | 第7-8页 |
| ·黑硅的应用领域 | 第8-10页 |
| ·飞秒激光诱导表面微结构的机理 | 第10-13页 |
| ·飞秒激光 | 第11页 |
| ·飞秒激光与物质作用的基本原理 | 第11-12页 |
| ·硅表面微结构形成机理的分析 | 第12-13页 |
| ·飞秒激光制备硅表面微纳米结构的国内外研究进展 | 第13-14页 |
| ·小结 | 第14-15页 |
| 第二章 飞秒激光能量累积方式对微结构硅表面形貌的影响 | 第15-29页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·实验装置 | 第15-16页 |
| ·飞秒激光扫描速度对硅表面微结构形貌的影响 | 第16-21页 |
| ·实验过程与结果 | 第16-18页 |
| ·理论分析与数值模拟 | 第18-21页 |
| ·飞秒激光功率对硅表面微结构形貌的影响 | 第21-24页 |
| ·实验过程与结果 | 第21-22页 |
| ·理论分析与数值模拟 | 第22-24页 |
| ·飞秒激光制备硅表面微纳米结构的最佳能量累积方式 | 第24-26页 |
| ·光学特性测试及光吸收机理分析 | 第26-28页 |
| ·小结 | 第28-29页 |
| 第三章 飞秒激光波长对硅表面微结构形貌的影响 | 第29-38页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·实验装置与方法 | 第29-30页 |
| ·相同激光功率条件下激光波长对微结构的影响 | 第30-34页 |
| ·激光能量不足时 800nm与 400nm激光制备微结构的区别 | 第30-31页 |
| ·激光能量充足时 800nm与 400nm激光制备微结构的区别 | 第31-34页 |
| ·相同环境气体气压条件下激光波长对微结构形貌的影响 | 第34-37页 |
| ·实验过程与结果分析 | 第34-36页 |
| ·刻蚀气体在微结构形成过程中的作用机理分析 | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 工作总结与展望 | 第38-39页 |
| 致谢 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40-42页 |
