| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-13页 |
| 1 绪论 | 第13-27页 |
| ·研究背景及研究意义 | 第13-15页 |
| ·研究背景 | 第13-14页 |
| ·研究意义 | 第14-15页 |
| ·国内外研究现状 | 第15-23页 |
| ·传统测量方法 | 第15-17页 |
| ·激光六自由度几何运动误差同时测量的方法 | 第17-23页 |
| ·本论文研究目标和研究内容 | 第23-27页 |
| ·本论文研究目标 | 第23-24页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第24-27页 |
| 2 基于He-Ne双频激光器与LD单模光纤组件的测量系统 | 第27-55页 |
| ·六自由度几何运动误差的测量原理 | 第27-37页 |
| ·六自由度几何运动误差同时测量的方法 | 第27-29页 |
| ·各自由度几何运动误差的测量 | 第29-35页 |
| ·共路光线漂移测量和补偿原理 | 第35-37页 |
| ·六自由度几何运动误差同时测量系统的研制 | 第37-42页 |
| ·光学设计和结构设计 | 第37-40页 |
| ·光电信号处理单元设计 | 第40-41页 |
| ·软件设计 | 第41-42页 |
| ·测量仪样机与实验结果 | 第42-52页 |
| ·测量仪样机 | 第42-44页 |
| ·标定实验 | 第44-48页 |
| ·重复性实验 | 第48-51页 |
| ·六自由度误差同时测量方法的改进 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-55页 |
| 3 基于单根保偏光纤耦合的He-Ne双频激光器的测量系统 | 第55-87页 |
| ·六自由度几何运动误差同时测量的方法 | 第55-65页 |
| ·六自由度几何运动误差同时测量系统的组成 | 第55-56页 |
| ·基于保偏光纤连接的外差干涉位置误差测量 | 第56-59页 |
| ·其它五自由度几何运动误差测量 | 第59-65页 |
| ·六自由度几何运动误差同时测量仪的研制 | 第65-69页 |
| ·光学设计和结构设计 | 第65-68页 |
| ·测量仪样机 | 第68-69页 |
| ·实验结果与分析 | 第69-84页 |
| ·标定实验 | 第69-72页 |
| ·稳定性实验 | 第72-75页 |
| ·测量分辨率测试 | 第75-76页 |
| ·重复性和对比实验 | 第76-81页 |
| ·误差分析 | 第81-84页 |
| ·本章小结 | 第84-87页 |
| 4 六自由度同时测量系统中直线度误差测量误差分析与补偿 | 第87-115页 |
| ·测量系统的误差构成 | 第87-88页 |
| ·六自由度几何运动误差同时测量中的直线度误差测量 | 第88-91页 |
| ·测量原理 | 第88-89页 |
| ·四象限探测器的工作原理 | 第89-90页 |
| ·四象限探测器的光电转换特性 | 第90-91页 |
| ·测量分辨率的变化引入的系统误差的分析及修证 | 第91-95页 |
| ·测量光半径对测量分辨率的影响 | 第92-93页 |
| ·测量光功率对测量分辨率的影响 | 第93-95页 |
| ·测量分辨率的修正 | 第95页 |
| ·制造误差、安装偏差和误差串扰引入的系统误差的分析与补偿 | 第95-101页 |
| ·角锥棱镜的展开 | 第95-97页 |
| ·测量光线追迹 | 第97-100页 |
| ·系统误差补偿模型的建立 | 第100-101页 |
| ·阿贝误差引入的系统误差的分析与补偿 | 第101-103页 |
| ·阿贝误差的产生原因和作用效果 | 第101-102页 |
| ·阿贝误差的补偿模型 | 第102-103页 |
| ·实验结果与分析 | 第103-113页 |
| ·直线度误差测量装置 | 第103-106页 |
| ·直线度误差测量的对比实验 | 第106-107页 |
| ·测量分辨率变化的修正 | 第107-109页 |
| ·误差串扰的补偿 | 第109-110页 |
| ·阿贝误差的补偿 | 第110-113页 |
| ·本章小结 | 第113-115页 |
| 5 结论与展望 | 第115-117页 |
| ·结论 | 第115-116页 |
| ·主要创新点 | 第116页 |
| ·展望 | 第116-117页 |
| 参考文献 | 第117-125页 |
| 作者简历 | 第125-129页 |
| 学位论文数据集 | 第129页 |
