| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| ·引言 | 第11-13页 |
| ·RF MEMS开关的研究意义 | 第13-16页 |
| ·国内外并联电容式RF MEMS开关发展现状 | 第16-19页 |
| ·未来发展趋势 | 第19-20页 |
| ·本论文的研究内容及结构安排 | 第20-21页 |
| 第2章 开关结构的机械性能分析与设计 | 第21-38页 |
| ·RF MEMS开关的机械性能指标 | 第21-22页 |
| ·RF MEMS电容式开关基本结构 | 第22-23页 |
| ·开关静力学分析 | 第23-28页 |
| ·各参数对开关开启电压的影响 | 第25-28页 |
| ·开关动态特性分析 | 第28-37页 |
| ·开关动力学理论模型 | 第28-30页 |
| ·开关的动力学模型的Matlab/Simulink仿真 | 第30-31页 |
| ·开关响应时间仿真结果和讨论 | 第31-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 开关结构的微波性能分析与设计 | 第38-51页 |
| ·RF MEMS开关的微波性能指标 | 第38-39页 |
| ·RF MEMS开关的高频电磁场仿真设计方法 | 第39-40页 |
| ·高频电磁场数值分析有限元原理 | 第39页 |
| ·Ansoft HFSS对RF MEMS开关的仿真流程 | 第39-40页 |
| ·ADS对RF MEMS开关的仿真 | 第40页 |
| ·并联电容式RF MEMS开关的等效电路模型 | 第40-44页 |
| ·并联电容式RF MEMS开关的电磁特性分析 | 第44-50页 |
| ·RF MEMS开关的共面波导传输线 | 第44-45页 |
| ·RF MEMS开关的等效电容 | 第45-47页 |
| ·RF MEMS开关的等效电感 | 第47-48页 |
| ·RF MEMS开关的等效电阻 | 第48-49页 |
| ·RF MEMS开关的损耗 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 RF MEMS开关设计与优化 | 第51-57页 |
| ·RF MEMS并联电容式开关的射频性能优化 | 第51-54页 |
| ·绝缘介质层厚度对射频性能的影响 | 第52-53页 |
| ·上电极与下电极之间空气层厚度对射频性能的影响 | 第53页 |
| ·上电极尺寸对射频性能的影响 | 第53-54页 |
| ·RF MEMS并联电容式开关优化后的性能 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 总结 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |