基于超精密定位的压电陶瓷驱动及其控制技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-26页 |
| ·课题背景 | 第12-13页 |
| ·压电陶瓷的应用 | 第13-14页 |
| ·研究现状 | 第14-22页 |
| ·驱动方式 | 第14-15页 |
| ·各种改进的驱动方式 | 第15-20页 |
| ·控制算法 | 第20-22页 |
| ·国内外产品性能对比 | 第22-23页 |
| ·本文主要研究目的和研究内容 | 第23-26页 |
| 第2章 压电陶瓷的特性 | 第26-36页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·逆压电效应和电致伸缩效应 | 第26-28页 |
| ·压电陶瓷的特性 | 第28-34页 |
| ·迟滞特性 | 第28-29页 |
| ·蠕变特性 | 第29-31页 |
| ·力学特性 | 第31-33页 |
| ·动态特性 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第3章 压电陶瓷的迟滞模型及控制研究 | 第36-56页 |
| ·引言 | 第36-37页 |
| ·压电陶瓷迟滞模型 | 第37-41页 |
| ·微分方程迟滞模型 | 第37-38页 |
| ·算子迟滞模型 | 第38-41页 |
| ·Prandtl-Ishlinskii模型建立 | 第41-47页 |
| ·基于逆模型补偿的控制方法 | 第47-50页 |
| ·基于逆模型补偿及PID的复合控制 | 第50-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 控制系统硬件设计及性能分析 | 第56-72页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·压电陶瓷控制系统总体设计 | 第56-57页 |
| ·硬件电路设计 | 第57-66页 |
| ·ARM控制单元设计 | 第57-58页 |
| ·D/A转换模块 | 第58-59页 |
| ·放大电路 | 第59-61页 |
| ·位移检测电路 | 第61-64页 |
| ·A/D转换模块 | 第64-66页 |
| ·硬件电路性能分析 | 第66-70页 |
| ·输出电压动态性能 | 第66-67页 |
| ·输出电压线性度分析 | 第67-68页 |
| ·输出电压的精度和稳定性分析 | 第68-69页 |
| ·输出电压分辨率分析 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第72-80页 |
| ·引言 | 第72页 |
| ·压电执行器定位实验 | 第72-76页 |
| ·实验结果分析 | 第76-78页 |
| ·本章小结 | 第78-80页 |
| 第6章 总结与展望 | 第80-82页 |
| ·工作总结 | 第80页 |
| ·研究展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-88页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第88-89页 |
| 指导教师及作者简介 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90页 |
