类金刚石薄膜的膜/基界面调控及其机械力学性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·类金刚石薄膜概述 | 第10-13页 |
| ·类金刚石薄膜的应用 | 第13-15页 |
| ·机械领域的应用 | 第13-14页 |
| ·光学、电学领域的应用 | 第14页 |
| ·生物医学领域的应用 | 第14-15页 |
| ·研究现状 | 第15-20页 |
| ·DLC薄膜的研究现状 | 第15-16页 |
| ·薄膜与基体界面结合性能的研究概述 | 第16-17页 |
| ·类金刚石薄膜制备工艺的研究现状 | 第17-19页 |
| ·改善类金刚石薄膜与基体间结合性能的方法 | 第19-20页 |
| ·研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 试验与表征 | 第22-29页 |
| ·制备系统 | 第22-23页 |
| ·DLC薄膜的沉积设备 | 第22-23页 |
| ·DLC薄膜的制备过程 | 第23页 |
| ·DLC薄膜表征方法 | 第23-29页 |
| ·DLC薄膜厚度与形貌的表征 | 第23-24页 |
| ·DLC薄膜结构的表征 | 第24-25页 |
| ·DLC薄膜力学特性的表征 | 第25-27页 |
| ·DLC薄膜与基体结合性能的表征 | 第27-28页 |
| ·DLC薄膜摩擦学性能的表征 | 第28-29页 |
| 第三章 W过渡层厚度对DLC薄膜结构及性能的影响 | 第29-39页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·不同厚度W过渡层DLC薄膜的制备 | 第29-30页 |
| ·DLC薄膜的结构与性能分析 | 第30-38页 |
| ·DLC薄膜的形貌与结构分析 | 第30-33页 |
| ·不同厚度W过渡层DLC薄膜的力学性能分析 | 第33-34页 |
| ·不同厚度W过渡层DLC的结合性能分析 | 第34-36页 |
| ·W过渡层厚度对DLC薄膜摩擦学性能的影响 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 过渡层类型对DLC薄膜结构性能的影响 | 第39-50页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·类金刚石薄膜的制备 | 第39-40页 |
| ·过渡层类型对DLC薄膜结构与性能的影响 | 第40-48页 |
| ·过渡层类型对DLC薄膜结构的影响 | 第40-42页 |
| ·过渡层类型对DLC薄膜力学特性的影响 | 第42-45页 |
| ·过渡层类型对DLC薄膜膜/基结合性能的影响 | 第45-47页 |
| ·过渡层类型对DLC薄膜摩擦学性能的影响 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 不同基体上复合DLC薄膜结构性能的研究 | 第50-61页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·复合过渡层DLC薄膜的制备 | 第50-51页 |
| ·DLC薄膜的物相结构与力学性能分析 | 第51-60页 |
| ·DLC薄膜的物相结构分析 | 第51-53页 |
| ·不同金属基体上复合DLC薄膜的力学性能 | 第53-54页 |
| ·复合DLC薄膜的结合性能分析 | 第54-55页 |
| ·不同环境下复合DLC薄膜的摩擦学性能 | 第55-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第61-63页 |
| ·全文总结 | 第61-62页 |
| ·工作展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第68-69页 |
