| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8-10页 |
| ·半导体辐射探测器简介 | 第8-9页 |
| ·半导体辐射探测器的分类 | 第9-10页 |
| ·半导体辐射探测器的应用领域 | 第10页 |
| ·硅基半导体辐射探测器的发展现状 | 第10-11页 |
| ·国际上硅基探测器的发展趋势 | 第10-11页 |
| ·国内硅基探测器的科技水平与发展现状 | 第11页 |
| ·论文研究内容以及章节安排 | 第11-12页 |
| ·本章小结 | 第12-13页 |
| 第二章 半导体探测器的原理和结构 | 第13-18页 |
| ·半导体辐射探测器工作原理 | 第13-14页 |
| ·半导体PN结基本原理 | 第13页 |
| ·反偏压探测器的工作原理 | 第13-14页 |
| ·位置灵敏探测器的工作原理 | 第14页 |
| ·硅基探测器电学参数指标与改进方案 | 第14-15页 |
| ·硅基探测器的击穿现象与保护 | 第15-17页 |
| ·击穿原理 | 第15页 |
| ·改进探测器击穿电压的手段 | 第15-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第三章 击穿电压与漏电流的模拟分析 | 第18-27页 |
| ·Sentaurus TCAD器件模拟的相关研究 | 第18-19页 |
| ·仿真流程 | 第18页 |
| ·网格文件与命令文件 | 第18-19页 |
| ·模拟要注意的问题 | 第19页 |
| ·二极管辐射探测器的间距模拟 | 第19-21页 |
| ·仿真结构 | 第19-20页 |
| ·击穿电压结果与分析 | 第20-21页 |
| ·条形探测器的间距模拟 | 第21-24页 |
| ·仿真结构 | 第21-22页 |
| ·击穿电压结果与分析 | 第22-23页 |
| ·漏电流结果与分析 | 第23-24页 |
| ·界面电荷对探测器性能的结果与分析 | 第24-26页 |
| ·界面电荷密度对击穿电压的影响 | 第24-25页 |
| ·界面电荷密度对漏电流的影响 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第四章 实验验证击穿电压的结果,探讨拐角曲率的影响 | 第27-35页 |
| ·耐压器件结构版图设计 | 第27-28页 |
| ·硅半导体刻蚀工艺的探讨 | 第28-30页 |
| ·硅湿法刻蚀操作简介 | 第28页 |
| ·刻蚀液温度对刻蚀速率和反应后表面粗糙度的影响 | 第28-29页 |
| ·刻蚀液浓度对刻蚀速率和反应后表面粗糙度的影响 | 第29-30页 |
| ·黑点和裂纹效应 | 第30页 |
| ·测试数据分析 | 第30-33页 |
| ·测试设备 | 第30-31页 |
| ·圆形结构保护环距离变化 | 第31-32页 |
| ·方形结构拐角曲率的变化 | 第32-33页 |
| ·主探测器击穿电压的数据分析 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第五章 硅基探测器输出信号分析 | 第35-47页 |
| ·探测器输出信号与噪声分析 | 第35-37页 |
| ·探测器的噪声源 | 第35页 |
| ·探测器应用电路的噪声源 | 第35-37页 |
| ·电荷灵敏前置放大器 | 第37-44页 |
| ·电荷灵敏放大器的基本介绍 | 第37页 |
| ·电子设计自动化软件Multisim | 第37-38页 |
| ·电荷灵敏放大器模块介绍 | 第38-41页 |
| ·电荷灵敏放大器的仿真结果 | 第41-44页 |
| ·带通滤波电路 | 第44-46页 |
| ·滤波电路的分类 | 第44页 |
| ·用作探测器滤波的带通滤波电路设计及效果简析 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第六章 硅基探测器的稳定性分析 | 第47-57页 |
| ·电学稳定性分析 | 第47-50页 |
| ·电迁移现象的条件与改善 | 第47-48页 |
| ·硅基探测器的电迁移现象判断 | 第48页 |
| ·电迁移现象对硅基探测器其它影响 | 第48-49页 |
| ·铝膜的生存时间 | 第49-50页 |
| ·动力学系统分析 | 第50-56页 |
| ·硅基探测器结构力学分析简介 | 第50页 |
| ·材料的安全裕度 | 第50-51页 |
| ·硅基探测器在准静态环境中的安全裕度分析 | 第51-53页 |
| ·硅基探测器的共振频率和模态 | 第53-54页 |
| ·硅基探测器在时变载荷作用下的谐响应分析 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第七章 论文总结和展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 申请学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |