| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-13页 |
| 1 绪论 | 第13-26页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·ZnO材料的基本性质 | 第14-18页 |
| ·ZnO的基本结构 | 第14-16页 |
| ·ZnO材料的光学性质 | 第16-17页 |
| ·ZnO材料的电学性质 | 第17-18页 |
| ·ZnO材料的磁学性质 | 第18页 |
| ·ZnO材料的应用 | 第18-20页 |
| ·光电方面的应用 | 第18-19页 |
| ·压电方面的应用 | 第19页 |
| ·气敏及湿敏方面的应用 | 第19页 |
| ·压敏方面的应用 | 第19-20页 |
| ·ZnO材料的研究进展及现状 | 第20-22页 |
| ·选题背景和研究方案 | 第22-23页 |
| 参考文献 | 第23-26页 |
| 2 薄膜的制备与表征手段 | 第26-35页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第26-29页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第29-34页 |
| ·X-射线衍射仪(XRD) | 第29-31页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第31-32页 |
| ·紫外分光光度计 | 第32页 |
| ·荧光分光光度计 | 第32-34页 |
| 参考文献 | 第34-35页 |
| 3 Ti掺杂ZnO薄膜的微结构和光学特性 | 第35-56页 |
| ·不同衬底上的ZnO薄膜微结构和光学特性 | 第35-38页 |
| ·不同衬底上的ZnO薄膜微结构和光学特性 | 第36-37页 |
| ·不同衬底上的ZnO:Ti薄膜微结构和光学特性 | 第37-38页 |
| ·玻璃衬底上不同Ti掺杂量下的ZnO薄膜 | 第38-46页 |
| ·不同Ti掺杂量的ZnO薄膜的微观结构 | 第38-41页 |
| ·不同Ti掺杂量的ZnO薄膜的表面形貌 | 第41-42页 |
| ·不同Ti掺杂量的ZnO薄膜的光学性质 | 第42-46页 |
| ·Si衬底上不同Ti掺杂量下的ZnO薄膜 | 第46-51页 |
| ·不同量的Ti掺杂ZnO薄膜微观结构及生长取向程度的研究 | 第46-49页 |
| ·不同Ti掺杂量对ZnO薄膜光致发光特性的影响 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 4 退火对ZnO:Ti薄膜的结构和形貌的影响 | 第56-62页 |
| ·ZnO:Ti薄膜的结构分析 | 第56-57页 |
| ·ZnO:Ti薄膜的形貌 | 第57-58页 |
| ·ZnO:Ti薄膜的透过率 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |
| 5 Fe-Ti共掺的ZnO薄膜的微结构和光学性能 | 第62-67页 |
| ·Fe-Ti共掺的ZnO薄膜的结构分析 | 第62-63页 |
| ·Fe-Ti共掺的ZnO薄膜的光致发光特性 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-67页 |
| 6 总结与展望 | 第67-70页 |
| ·总结 | 第67-69页 |
| ·展望 | 第69-70页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |