CMUT薄膜的仿真与形变分析
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·超声波传感器 | 第9-10页 |
| ·压电传感器 | 第9-10页 |
| ·电容传感器 | 第10页 |
| ·对比 | 第10页 |
| ·CMUT 的研究现状 | 第10-12页 |
| ·MEMS 的研究现状 | 第11-12页 |
| ·CMUT 的研究现状 | 第12页 |
| ·本课题的研究意义和主要工作 | 第12-14页 |
| 第二章 CMUT 的基础理论 | 第14-19页 |
| ·超声波基础理论 | 第14-15页 |
| ·CMUT 的结构分析 | 第15-17页 |
| ·CMUT 的工作原理 | 第17-19页 |
| 第三章 CMUT 的建模与仿真 | 第19-34页 |
| ·有限元方法及软件简介 | 第19-20页 |
| ·建立 CMUT 模型 | 第20-24页 |
| ·二维模型 | 第21-22页 |
| ·三维模型 | 第22-24页 |
| ·模型求解 | 第24-27页 |
| ·模型收敛性 | 第24-26页 |
| ·模型边界条件 | 第26-27页 |
| ·结果分析 | 第27-34页 |
| ·正压力 | 第27-29页 |
| ·静电力 | 第29-32页 |
| ·对比 | 第32-34页 |
| 第四章 薄膜的形变分析 | 第34-65页 |
| ·载荷—挠度模型简介 | 第34-38页 |
| ·直接法 | 第35-37页 |
| ·能量法 | 第37-38页 |
| ·有限元法 | 第38页 |
| ·薄膜的形变分析 | 第38-60页 |
| ·中心形变 | 第39-40页 |
| ·标准函数 | 第40-41页 |
| ·补偿项 | 第41页 |
| ·模型求解 | 第41-58页 |
| ·正压力 | 第43-51页 |
| ·静电力 | 第51-58页 |
| ·薄膜坍塌 | 第58-60页 |
| ·模型拓展 | 第60-62页 |
| ·薄膜形状 | 第60-61页 |
| ·形变因子 | 第61-62页 |
| ·形变模型 | 第62页 |
| ·电容的求解 | 第62-65页 |
| 第五章 全文总结与工作展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 附录 | 第71页 |
