| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstracts | 第6-10页 |
| 1. 绪论 | 第10-22页 |
| ·TiO_2的应用 | 第10-12页 |
| ·TiO_2晶体结构 | 第12-14页 |
| ·TiO_2研究进展 | 第14-18页 |
| ·TiO_2薄膜的制备方法 | 第18-20页 |
| ·选题意义 | 第20-22页 |
| 2. 实验 | 第22-28页 |
| ·纯 TiO_2和 Nb 掺杂 TiO_2陶瓷靶 | 第22-24页 |
| ·直流溅射 Nb 掺杂 TiO_2薄膜的制备 | 第24-25页 |
| ·Nb 掺杂 TiO_2/SiO_2多层膜 | 第25-26页 |
| ·实验表征方法 | 第26-28页 |
| 3. NB 掺杂 TIO_2陶瓷靶性能研究 | 第28-36页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·纯/Nb 掺杂 TiO_2陶瓷靶的结构特性 | 第28-32页 |
| ·纯/Nb 掺杂 TiO_2陶瓷靶的导电特性 | 第32-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4. NB 掺杂 TIO_2薄膜的结构特性 | 第36-52页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·Nb 掺杂 TiO_2的直流溅射效率 | 第36-39页 |
| ·Nb 掺杂 TiO_2薄膜的结构和表面形貌分析 | 第39-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 5. NB 掺杂 TIO_2薄膜的光学特性 | 第52-65页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·Nb 掺杂 TiO_2薄膜的光透过特性 | 第52-58页 |
| ·Nb 掺杂 TiO_2薄膜禁带宽 | 第58-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 6. NB 掺杂 TIO_2薄膜在多层膜中应用 | 第65-72页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·TFCalc 软件光学模拟 | 第65-67页 |
| ·Nb 掺杂 TiO_2/SiO_2多层膜光学特性 | 第67-70页 |
| ·Nb 掺杂 TiO_2/SiO_2多层膜的结构特征 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 7. 结论 | 第72-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 附录 1：（攻读研究生期间发表论文） | 第82页 |