| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·MEMS 技术 | 第8-9页 |
| ·MEMS 红外光源 | 第9-13页 |
| ·本论文研究内容 | 第13-14页 |
| 2 窄带红外光源理论分析和仿真设计 | 第14-23页 |
| ·窄带红外光源的理论分析 | 第14-15页 |
| ·窄带红外光源的仿真设计 | 第15-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 窄带红外光源的有限元模拟 | 第23-36页 |
| ·有限元模拟概述 | 第23页 |
| ·COMSOL Multiphysics 软件简介 | 第23-24页 |
| ·窄带红外光源 COMSOL Multiphysics 软件分析 | 第24-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 4 窄带红外光源制备工艺 | 第36-57页 |
| ·窄带红外光源制备工艺流程 | 第37-46页 |
| ·关键工艺研究 | 第46-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 5 测试结果和实验方案的改进 | 第57-63页 |
| ·测试结果 | 第57-59页 |
| ·制作工艺流程的改进 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 6 总结与展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |