多晶太阳能电池发射极优化机理及电性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-26页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·太阳能电池简介 | 第11-16页 |
| ·太阳能电池的发展历程 | 第11-12页 |
| ·太阳能电池的分类 | 第12-14页 |
| ·晶硅太阳能电池产业化发展趋势 | 第14-16页 |
| ·太阳能电池的基本原理及性能 | 第16-22页 |
| ·太阳能电池的基本原理 | 第16-17页 |
| ·太阳能电池的器件结构 | 第17-18页 |
| ·太阳能电池的电学模型 | 第18-20页 |
| ·太阳能电池的电性能参数 | 第20-22页 |
| ·多晶太阳能电池的发射极研究进展 | 第22-24页 |
| ·不同方法制备发射极 | 第22-23页 |
| ·选择性发射极 | 第23页 |
| ·扩散吸杂 | 第23-24页 |
| ·发射极钝化 | 第24页 |
| ·本论文的研究内容和研究意义 | 第24-26页 |
| 第二章 多晶太阳能电池的制备与测试 | 第26-35页 |
| ·多晶太阳能电池的制备工艺及常用设备 | 第26-29页 |
| ·多晶槽式制绒 | 第26-27页 |
| ·扩散制备发射极 | 第27页 |
| ·等离子刻蚀去边 | 第27-28页 |
| ·磷硅玻璃清洗 | 第28页 |
| ·制备氮化硅减反膜 | 第28页 |
| ·丝网印刷电极 | 第28页 |
| ·烧结形成欧姆接触 | 第28-29页 |
| ·电性能测试系统 | 第29-30页 |
| ·论文中的其他测试手段 | 第30-33页 |
| ·四探针方块电阻测试 | 第30-31页 |
| ·少子寿命测试 | 第31-32页 |
| ·太阳能电池电致发光测试 | 第32-33页 |
| ·内量子效率测试 | 第33页 |
| ·本论文的方案设计 | 第33-35页 |
| 第三章 多晶太阳能电池扩散发射极优化 | 第35-64页 |
| ·扩散制备发射极的原理 | 第35-38页 |
| ·扩散的机制 | 第35-36页 |
| ·多晶太阳能电池的磷扩散工艺 | 第36页 |
| ·多晶太阳能电池的磷扩散机理 | 第36-38页 |
| ·发射极的 PC1D 仿真 | 第38-42页 |
| ·发射极方块电阻的影响机理 | 第42-48页 |
| ·趋入时间对扩散方阻的影响 | 第43-44页 |
| ·中心温度对扩散方阻的影响 | 第44-47页 |
| ·通源量对扩散方阻的影响 | 第47-48页 |
| ·单面、双面扩散制备发射极 | 第48-52页 |
| ·单面、双面扩散对少子寿命的影响 | 第48-49页 |
| ·单面、双面扩散对电性能的影响 | 第49-52页 |
| ·发射极方块电阻对电性能的影响 | 第52-57页 |
| ·不同方阻对少子寿命的影响 | 第52-53页 |
| ·不同发射极方块电阻的电性能 | 第53-57页 |
| ·不同扩散发射极制备工艺及其电性能 | 第57-63页 |
| ·不同扩散发射极制备工艺 | 第57-59页 |
| ·不同发射极制备工艺均匀性分析 | 第59-60页 |
| ·不同发射极制备工艺电性能分析 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第四章 多晶太阳能电池湿化学法发射极优化 | 第64-74页 |
| ·湿化学法优化发射极的原理 | 第64-66页 |
| ·死层的产生 | 第64-65页 |
| ·湿化学法优化发射极的工艺原理 | 第65-66页 |
| ·湿化学法去死层 | 第66-71页 |
| ·湿化学法对方块电阻的影响 | 第66-68页 |
| ·湿化学法去死层电性能分析 | 第68-71页 |
| ·发射极优化后的效率 | 第71-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 结论与展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第81-82页 |
