玻璃基微环谐振器的设计与制作

摘要	第1-3页
Abstract	第3-4页
目录	第4-5页
第一章 绪论	第5-19页
·光电子领域中的“晶体管”—微环	第5-6页
·微环谐振结构的发展历史与现状	第6-12页
·微环的结构	第8-11页
·微环的材料	第11-12页
·玻璃基微环的研究意义	第12-15页
·本论文的主要工作和结构	第15-19页
第二章 微环谐振腔原理	第19-32页
·耦合理论	第19-20页
·环形谐振腔的基本原理	第20-24页
·全通滤波器结构	第24-28页
·环形谐振腔的性能参数	第28-32页
第三章 玻璃基微环谐振腔的设计	第32-42页
·单模条件	第32-35页
·掩埋波导	第32-33页
·非掩模波导	第33-35页
·弯曲损耗和弯曲半径	第35-38页
·直波导与环的耦合	第38-40页
·设计版图	第40-42页
第四章 玻璃基微环的制作与结果	第42-71页
·工艺流程	第42-43页
·搭建测试平台	第43-44页
·一次交换制作结果	第44-62页
·一次交换—BK7	第44-47页
·一次交换—BK7和 B270对比实验	第47-55页
·一次交换—K9	第55-62页
·二次交换制作结果	第62-68页
·二次交换—Z0	第62-63页
·二次交换—Z1	第63-68页
·实验结果分析总结	第68-71页
第五章 总结与展望	第71-73页
·总结	第71页
·展望	第71-73页
致谢	第73页