| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| ·高密度磁记录头材料的发展及要求 | 第11-13页 |
| ·块状Fe-Co 合金的性质 | 第13-15页 |
| ·Fe-Co 薄膜的研究进展 | 第15-16页 |
| ·本文的研究工作 | 第16-18页 |
| 2 薄膜的制备及其性能表征 | 第18-29页 |
| ·样品的制备方法 | 第18-24页 |
| ·磁控溅射的基本原理 | 第18-22页 |
| ·基片的选择与清洗 | 第22页 |
| ·溅射镀膜程序及溅射工艺条件 | 第22-23页 |
| ·样品的热处理 | 第23-24页 |
| ·薄膜样品的性能表征 | 第24-29页 |
| ·振动样品磁强计(VSM)的磁性测量 | 第24-25页 |
| ·X射线衍射(X-ray Diffraction)分析 | 第25-26页 |
| ·扫描探针显微镜(SPM)的观测 | 第26-29页 |
| 3 Fe_(50)Co_(50) 薄膜的制备、微结构和磁特性研究 | 第29-48页 |
| ·退火温度对Fe_(50)Co_(50)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第29-34页 |
| ·样品制备 | 第29-30页 |
| ·结果与讨论 | 第30-34页 |
| ·本节小结 | 第34页 |
| ·基底温度对Fe_(50)Co_(50)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第34-40页 |
| ·样品制备 | 第34-35页 |
| ·结果与讨论 | 第35-40页 |
| ·本节小结 | 第40页 |
| ·薄膜厚度对Fe_(50)Co_(50)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第40-44页 |
| ·样品制备 | 第40页 |
| ·结果与讨论 | 第40-43页 |
| ·本节小结 | 第43-44页 |
| ·退火时间对Fe_(50)Co_(50)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第44-48页 |
| ·样品制备 | 第44页 |
| ·结果与讨论 | 第44-47页 |
| ·本节小结 | 第47-48页 |
| 4 Fe_(30)Co_(70) 薄膜的制备、微结构和磁特性研究 | 第48-62页 |
| ·退火温度对Fe_(30)Co_(70)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第48-51页 |
| ·样品制备 | 第48页 |
| ·结果与讨论 | 第48-50页 |
| ·本节小结 | 第50-51页 |
| ·基底温度对Fe_(30)Co_(70)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第51-55页 |
| ·样品制备 | 第51页 |
| ·结果与讨论 | 第51-54页 |
| ·本节小结 | 第54-55页 |
| ·薄膜厚度对Fe_(30)Co_(70)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第55-58页 |
| ·样品制备 | 第55页 |
| ·结果与讨论 | 第55-58页 |
| ·本节小结 | 第58页 |
| ·退火时间对Fe_(50)Co_(50)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第58-62页 |
| ·样品制备 | 第59页 |
| ·结果与讨论 | 第59-61页 |
| ·本节小结 | 第61-62页 |
| 5 Fe_(70)Co_(30) 薄膜的制备、微结构和磁特性研究 | 第62-69页 |
| ·薄膜厚度对Fe_(70)Co_(30)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第62-65页 |
| ·退火温度对Fe_(70)Co_(30)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第65-67页 |
| ·基底温度对Fe_(70)Co_(30)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第67-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读学位期间取得的科研成果清单 | 第76页 |
