新型硅纳米光波导与微环器件及应用
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 硅基光子集成器件的发展与现状 | 第9-11页 |
| 1.2 硅基光波导器件 | 第11-14页 |
| 1.2.1 硅基光波导 | 第11-13页 |
| 1.2.2 微环谐振腔 | 第13-14页 |
| 1.3 微环谐振器的应用 | 第14-17页 |
| 1.4 本文的主要内容和创新点 | 第17-20页 |
| 1.4.1 主要内容 | 第17-18页 |
| 1.4.2 本文创新点 | 第18-20页 |
| 2 基于硅纳米光波导的传感分析 | 第20-37页 |
| 2.1 光场在波导中的传播理论 | 第20-27页 |
| 2.2 光波导的模式耦合理论 | 第27-30页 |
| 2.3 硅纳米波导在传感应用上的设计和分析 | 第30-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 3 基于微环的流速传感器 | 第37-59页 |
| 3.1 微环谐振器的基本原理 | 第37-39页 |
| 3.2 微环谐振器的特性研究 | 第39-43页 |
| 3.2.1 自由光谱范围 | 第39-40页 |
| 3.2.2 谐振峰半高全宽 | 第40-41页 |
| 3.2.3 品质因子和精细度 | 第41-42页 |
| 3.2.4 消光比 | 第42-43页 |
| 3.3 流速传感器的原理 | 第43-51页 |
| 3.3.1 热光效应 | 第45-47页 |
| 3.3.2 结构和热学仿真 | 第47-51页 |
| 3.4 流速传感器的结构设计和仿真 | 第51-58页 |
| 3.4.1 金属加热电极的选择 | 第51-53页 |
| 3.4.2 微环在流体中的仿真 | 第53-55页 |
| 3.4.3 微环的设计 | 第55-56页 |
| 3.4.4 器件的输出结果 | 第56-58页 |
| 3.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 4 硅基光波导的光力仿真及应用 | 第59-85页 |
| 4.1 光力的原理 | 第59-64页 |
| 4.1.1 高斯光束对粒子的作用力 | 第59-62页 |
| 4.1.2 波导对粒子的作用力 | 第62-64页 |
| 4.2 光力的数值计算模型 | 第64-68页 |
| 4.2.1 光力数值仿真过程 | 第64-66页 |
| 4.2.2 数值模型的物理解释 | 第66页 |
| 4.2.3 数值模型的特点 | 第66-68页 |
| 4.3 硅纳米线光波导光力的作用结果和分析 | 第68-72页 |
| 4.4 亚波长光栅波导光力的作用结果和分析 | 第72-79页 |
| 4.5 微流通道的介绍和制作 | 第79-83页 |
| 4.6 本章小结 | 第83-85页 |
| 5 总结 | 第85-87页 |
| 5.1 总作总结 | 第85-86页 |
| 5.2 工作展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-92页 |
| 作者简介 | 第92页 |
