| 中文摘要 | 第1-13页 |
| 英文摘要 | 第13-18页 |
| 第一章 材料的化学与电化学微加工概论 | 第18-59页 |
| §1.1 微机电系统与微纳米结构加工 | 第18-20页 |
| §1.2 微纳米结构加工技术分类 | 第20-22页 |
| §1.3 2维～2.5维微结构的加工方法 | 第22-35页 |
| §1.3.1 光刻与化学刻蚀组合工艺 | 第22-30页 |
| §1.3.2 光刻与电化学阳极溶解组合工艺 | 第30-31页 |
| §1.3.3 LIGA技术 | 第31-33页 |
| §1.3.4 微接触印刷方法 | 第33-34页 |
| §1.3.5 干法刻蚀 | 第34-35页 |
| §1.4 当前复杂三维微结构的加工方法及其局限性 | 第35-42页 |
| §1.4.1 用光刻技术进行多次套刻 | 第35-36页 |
| §1.4.2 EFAB技术 | 第36-37页 |
| §1.4.3 超短电位脉冲法 | 第37-38页 |
| §1.4.4 逐点加工 | 第38-39页 |
| §1.4.5 扫描探针显微镜 | 第39-42页 |
| §1.5 约束刻蚀剂层技术 | 第42-46页 |
| §1.6 对金属材料进行体微加工的意义 | 第46-50页 |
| §1.6.1 常用MEMS材料及其特性 | 第46-47页 |
| §1.6.2 对金属材料进行体微加工的意义 | 第47-50页 |
| 参考文献 | 第50-59页 |
| 第二章 实验方法 | 第59-78页 |
| §2.1 实验材料和所用化学试剂 | 第59-61页 |
| §2.2 用于微纳米结构复制加工的模板制造 | 第61-68页 |
| §2.3 微纳米结构加工设备 | 第68-73页 |
| §2.4 微结构的表征方法 | 第73-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
| 第三章 金属铜的约束刻蚀加工 | 第78-105页 |
| §3.1 选用金属铜 | 第78-79页 |
| §3.2 铜的微加工及其应用研究现状 | 第79-82页 |
| §3.3 铜的约束刻蚀体系研究 | 第82-92页 |
| §3.3.1 金属铜的腐蚀特性及刻蚀条件分析 | 第82-85页 |
| §3.3.2 Fe~(3+)刻蚀体系 | 第85-91页 |
| §3.3.3 HNO_3刻蚀体系 | 第91-92页 |
| §3.4 铜的约束刻蚀结果及表面形态分析 | 第92-101页 |
| §3.4.1 微孔加工 | 第92-95页 |
| §3.4.2 复杂三维微结构的复制加工 | 第95-98页 |
| §3.4.3 络合剂的加入对刻蚀表面形态的影响 | 第98-101页 |
| §3.5 小结 | 第101页 |
| 参考文献 | 第101-105页 |
| 第四章 金属镍的约束刻蚀加工 | 第105-130页 |
| §4.1 选用金属镍 | 第105-106页 |
| §4.2 镍的微加工及其应用研究现状 | 第106-109页 |
| §4.3 镍的约束刻蚀体系研究 | 第109-119页 |
| §4.3.1 金属镍的腐蚀特性及刻蚀条件分析 | 第109-111页 |
| §4.3.2 刻蚀剂和约束剂的选择 | 第111-113页 |
| §4.3.3 刻蚀溶液配制中应注意的问题 | 第113页 |
| §4.3.4 刻蚀溶液组成及工艺参数 | 第113-114页 |
| §4.3.5 约束刻蚀加工反应历程研究与分析 | 第114-119页 |
| §4.4 镍的刻蚀结果及表面形态分析 | 第119-125页 |
| §4.4.1 复杂三维微结构的加工 | 第119-123页 |
| §4.4.2 通孔加工 | 第123-124页 |
| §4.4.3 各成分浓度与电流密度对分辨率的影响 | 第124页 |
| §4.4.4 刻蚀表面形态 | 第124-125页 |
| §4.5 小结 | 第125-126页 |
| 参考文献 | 第126-130页 |
| 第五章 金属钛及其合金的约束刻蚀加工 | 第130-150页 |
| §5.1 选用金属钛及其合金 | 第130-131页 |
| §5.2 钛的刻蚀加工及其应用研究现状 | 第131-132页 |
| §5.3 钛的约束刻蚀体系设计 | 第132-137页 |
| §5.3.1 金属钛及其合金的的腐蚀特性和刻蚀条件分析 | 第132-134页 |
| §5.3.2 钛的约束刻蚀体系设计及反应历程 | 第134-137页 |
| §5.3.3 刻蚀溶液组成及工艺参数 | 第137页 |
| §5.4 金属钛的约束刻蚀结果与讨论 | 第137-146页 |
| §5.5 小结 | 第146页 |
| 参考文献 | 第146-150页 |
| 第六章 金属铝、镁和镉及其合金的约束刻蚀加工 | 第150-174页 |
| §6.1 选用金属铝 | 第150-151页 |
| §6.2 金属铝及其合金的腐蚀特性分析 | 第151-152页 |
| §6.3 金属铝的刻蚀体系研究与刻蚀结果分析 | 第152-157页 |
| §6.4 镁合金的约束刻蚀初步研究 | 第157-167页 |
| §6.5 金属镉的约束刻蚀初探 | 第167-171页 |
| §6.6 小结 | 第171页 |
| 参考文献 | 第171-174页 |
| 约束刻蚀剂层技术未来研究工作展望 | 第174-177页 |
| 在厦门大学学习和科研过程中所发表的论文及其它成果 | 第177-178页 |
| 致谢 | 第178-179页 |