| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-19页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·三氧化钨薄膜及其敏感性能 | 第9-13页 |
| ·WO_3基本性能 | 第9-10页 |
| ·WO_3薄膜的气敏性能 | 第10-12页 |
| ·WO_3薄膜的湿敏性能 | 第12-13页 |
| ·Si-NPA研究状况及存在问题 | 第13-18页 |
| ·Si-NPA的制备技术及结构特征 | 第13-14页 |
| ·Si-NPA基湿敏性能研究 | 第14-16页 |
| ·Si-NPA酒敏性能研究 | 第16-17页 |
| ·Si-NPA存在的问题 | 第17-18页 |
| ·本文研究的目的和内容 | 第18-19页 |
| 第二章 WO_3/Si-NPA复合薄膜的制备及湿敏性能研究 | 第19-34页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·溶胶凝胶法制备三氧化钨薄膜 | 第19-22页 |
| ·溶胶凝胶法的基本原理 | 第19-20页 |
| ·WO_3溶胶的制备方法 | 第20-21页 |
| ·WO_3薄膜的成膜方法 | 第21-22页 |
| ·实验准备 | 第22-24页 |
| ·WO_3晶相分析 | 第24-26页 |
| ·溶胶的制备 | 第24页 |
| ·WO_3的热重分析 | 第24-25页 |
| ·WO_3粉末的XRD分析 | 第25-26页 |
| ·WO_3/Si-NPA的制备及形貌特征 | 第26-33页 |
| ·Si-NPA的制备 | 第26页 |
| ·WO_3/Si-NPA复合薄膜的制备 | 第26-27页 |
| ·WO_3/Si-NPA复合薄膜晶体结构 | 第27页 |
| ·WO_3薄膜裂纹的形成原因 | 第27-29页 |
| ·退火时间对薄膜形貌、厚度和颗粒大小的影响 | 第29-31页 |
| ·退火时间对WO_3/Si-NPA薄膜形貌的影响 | 第29-30页 |
| ·退火时间对WO_3颗粒大小的影响 | 第30页 |
| ·退火时间对WO_3薄膜厚度的影响 | 第30-31页 |
| ·溶胶浓度对薄膜形貌、厚度和颗粒大小的影响 | 第31-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 第三章 WO_3/Si-NPA复合薄膜的湿敏性能 | 第34-43页 |
| ·传感器的基本知识 | 第34-36页 |
| ·湿度传感器的特征参数 | 第34-35页 |
| ·湿度标定系统的设计 | 第35-36页 |
| ·WO_3/Si-NPA复合薄膜的湿敏性能 | 第36-42页 |
| ·电极制备及湿度信号的检测 | 第36-37页 |
| ·WO_3/Si-NPA湿敏元件灵敏度测试及测试频率的选择 | 第37-38页 |
| ·WO_3/Si-NPA湿敏元件响应时间 | 第38-39页 |
| ·WO_3/Si-NPA湿敏元件基点电容温度稳定性 | 第39-40页 |
| ·WO_3/Si-NPA湿敏元件湿滞 | 第40-41页 |
| ·WO_3/Si-NPA湿敏元件基线长期稳定性 | 第41-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 第四章 气敏实验装置设计及WO_3/Si-NPA的NO_2气敏特性 | 第43-48页 |
| ·气敏实验装置设计的背景 | 第43页 |
| ·气敏实验装置设计原理 | 第43-46页 |
| ·初步设计实验 | 第43-45页 |
| ·实验设计的改进 | 第45-46页 |
| ·WO_3/Si-NPA气敏性能测试 | 第46-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第五章 结论 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-59页 |
| 硕士期间完成论文 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
