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晶体硅太阳电池表面钝化研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第7-14页
   ·太阳电池的应用前景第7-9页
     ·能源危机第7页
     ·太阳能的优势第7-8页
     ·光伏政策第8-9页
   ·太阳电池的发展概况第9-10页
   ·太阳电池表面钝化技术研究动态第10-12页
   ·本文的研究意义和主要内容第12-14页
     ·研究意义第12-13页
     ·主要内容第13-14页
第二章 太阳电池基本原理及复合理论第14-25页
   ·硅太阳电池基础第14-18页
     ·硅太阳电池的构造第14页
     ·硅太阳电池的基本原理第14-15页
     ·硅太阳电池的等效电路第15-16页
     ·硅太阳电池的电学参数第16-18页
   ·硅太阳电池中少数载流子的复合第18-22页
     ·辐射复合第18-19页
     ·俄歇复合第19页
     ·陷阱复合第19-21页
     ·表面复合第21-22页
   ·硅太阳电池表面钝化技术第22-23页
   ·硅太阳电池表面钝化膜的作用第23-24页
     ·钝化膜的表面钝化作用第23-24页
     ·钝化膜的感应结特性第24页
     ·钝化膜的减反射作用第24页
   ·本章小结第24-25页
第三章 太阳电池重掺杂表面的钝化第25-33页
   ·重掺杂表面钝化介绍第25-26页
   ·氧化及表面钝化第26-32页
     ·氧化原理及方法第26-28页
     ·氧化膜厚第28-29页
     ·实验方案及实验过程第29页
     ·实验结果及分析第29-32页
   ·本章小结第32-33页
第四章 硅太阳电池氮化硅膜背面钝化研究第33-53页
   ·硅太阳电池背面钝化介绍第33-34页
     ·硅太阳电池的薄片化第33页
     ·硅太阳电池的背面钝化第33-34页
   ·等离子体化学气相沉积氮化硅第34-36页
     ·等离子体气相化学沉积反应原理第34-35页
     ·等离子体气相化学沉积的两种方式第35-36页
   ·前人的研究成果第36-37页
     ·氮化硅膜的厚度对表面钝化效果的影响第36-37页
     ·氮化硅膜的折射率对表面钝化效果的影响第37页
   ·氮化硅膜的退火特性第37-45页
     ·氮化硅膜的普通热退火第37-42页
     ·氮化硅膜的快速热退火第42-45页
   ·背面氮化硅膜钝化太阳电池的实验第45-51页
     ·背面氮化硅膜钝化太阳电池第45-46页
     ·实验方案及过程第46-47页
     ·实验结果及分析第47-51页
   ·背面钝化电池的PC1D 模拟第51-52页
   ·本章小结第52-53页
第五章 总结与展望第53-55页
   ·总结第53-54页
   ·展望第54-55页
致谢第55-56页
参考文献第56-59页
攻读硕士期间发表的论文清单第59页

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