| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·激光加工技术的发展 | 第9-11页 |
| ·激光加工技术的由来 | 第9页 |
| ·激光加工技术的发展过程 | 第9-11页 |
| ·飞秒激光加工的原理和特征优势 | 第11-14页 |
| ·飞秒激光对固体材料的烧蚀加工 | 第11-12页 |
| ·飞秒激光对光敏树脂的双光子光聚合加工 | 第12-14页 |
| ·飞秒激光微纳加工研究现状 | 第14-19页 |
| ·固体材料烧蚀研究现状 | 第14-17页 |
| ·光敏树脂双光子光聚合微加工研究现状 | 第17-19页 |
| ·本课题研究的目的和内容 | 第19-21页 |
| ·本课题研究的目的 | 第19-20页 |
| ·本课题研究的内容 | 第20-21页 |
| 第二章 飞秒激光脉冲在介质中的传播和聚焦 | 第21-28页 |
| ·近轴近似法求高斯光束的近轴焦点 | 第21-23页 |
| ·高斯飞秒激光峰值功率 | 第23-24页 |
| ·自聚焦效应对透明材料内部峰值功率的影响 | 第24-25页 |
| ·等离子体的产生对飞秒激光聚焦的影响 | 第25-26页 |
| ·自由数值孔径的获得 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 飞秒激光与 K9玻璃相互作用及应用研究 | 第28-46页 |
| ·前言 | 第28-31页 |
| ·飞秒激光诱导 K9玻璃表面烧蚀机理 | 第31-37页 |
| ·单脉冲烧蚀机理 | 第31-34页 |
| ·多脉冲烧蚀机理 | 第34-37页 |
| ·飞秒激光诱导K9玻璃表面烧蚀线宽研究 | 第37-40页 |
| ·线宽与扫描次数的关系 | 第37-38页 |
| ·线宽与激光功率的关系 | 第38-40页 |
| ·飞秒激光在K9 玻璃表面制作阵列微结构 | 第40-42页 |
| ·微米—亚微米双尺度光栅结构 | 第40-41页 |
| ·微型无阀泵阵列 | 第41页 |
| ·微型混合器阵列 | 第41-42页 |
| ·飞秒激光与 K9玻璃内部相互作用机理及应用研究 | 第42-45页 |
| ·飞秒激光诱导 K9玻璃内部微爆炸和折射率变化机理 | 第42页 |
| ·线宽与激光功率和扫描速度的关系 | 第42-43页 |
| ·光子器件的制作 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 飞秒激光双光子光聚合制备三维微结构 | 第46-56页 |
| ·飞秒激光双光子光聚合微细加工技术 | 第46页 |
| ·双光子光聚合机理及分辨率研究 | 第46-50页 |
| ·飞秒激光双光子光聚合机理 | 第46-48页 |
| ·光聚合阈值和分辨率理论研究 | 第48-50页 |
| ·飞秒激光三维微加工实验系统及材料 | 第50-51页 |
| ·分辨率实验研究 | 第51-53页 |
| ·微结构制作及应用研究 | 第53-55页 |
| ·生物器件微叶轮 | 第53-54页 |
| ·生物器件微井阵列 | 第54-55页 |
| ·生物器件微柱阵列 | 第55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 光子晶体的设计与飞秒激光制作研究 | 第56-64页 |
| ·光子晶体基础 | 第56-59页 |
| ·光子晶体的诞生 | 第56页 |
| ·光子晶体的结构与特性 | 第56-59页 |
| ·二维光子晶体制备及应用 | 第59-60页 |
| ·二维光子晶体的制备 | 第59页 |
| ·二维光子晶体的应用研究 | 第59-60页 |
| ·三维木堆光子晶体的制备 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·总结 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 硕士期间参与的科研项目 | 第73-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文、专利及奖励 | 第74-75页 |