TiAlN薄膜的制备及其性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·刀具涂层技术的发展 | 第10-12页 |
| ·TiAlN涂层的结构与性能 | 第12-14页 |
| ·薄膜的制备技术 | 第14-18页 |
| ·气相沉积技术在涂层制备领域的应用 | 第14-15页 |
| ·物理气相沉积制备TiAlN薄膜 | 第15-18页 |
| 第2章 TiAlN薄膜的制备和表征 | 第18-22页 |
| ·实验方案 | 第18页 |
| ·样品预处理 | 第18页 |
| ·TiAlN薄膜的制备 | 第18-19页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第19页 |
| ·AMBIOS XP-2台阶仪 | 第19页 |
| ·显微硬度测量 | 第19-20页 |
| ·膜基结合力的评价 | 第20页 |
| ·摩擦磨损性能评价 | 第20-21页 |
| ·抗氧化性能评价 | 第21-22页 |
| 第3章 TiAlN薄膜的制备及性能研究 | 第22-58页 |
| ·常温下TiAlN薄膜的制备 | 第22页 |
| ·常温下TiAlN薄膜的表征 | 第22-36页 |
| ·TiAlN薄膜的厚度 | 第22-23页 |
| ·TiAlN薄膜的结构 | 第23-25页 |
| ·TiAlN薄膜的硬度 | 第25-27页 |
| ·TiAlN薄膜的摩擦磨损性能 | 第27-32页 |
| ·TiAlN薄膜的抗氧化性能 | 第32-36页 |
| ·温度对TiAlN薄膜结构及性能的影响 | 第36-43页 |
| ·实验工艺 | 第36页 |
| ·TiAlN薄膜的结构 | 第36-37页 |
| ·TiAlN薄膜的硬度 | 第37-38页 |
| ·TiAlN薄膜的摩擦磨损性能 | 第38-40页 |
| ·TiAlN薄膜的抗氧化性能 | 第40-43页 |
| ·加热环境下制备TiAlN薄膜的表征 | 第43-58页 |
| ·TiAlN薄膜的制备工艺 | 第43-44页 |
| ·TiAlN薄膜的结构 | 第44-45页 |
| ·TiAlN薄膜的硬度 | 第45-47页 |
| ·TiAlN薄膜的摩擦磨损性能 | 第47-53页 |
| ·TiAlN薄膜的抗氧化性能 | 第53-58页 |
| 第4章 TiAl/TiAlN薄膜制备及性能研究 | 第58-65页 |
| ·实验工艺 | 第58页 |
| ·薄膜的硬度 | 第58-59页 |
| ·薄膜的摩擦磨损性能 | 第59-62页 |
| ·薄膜与基体的结合力 | 第62-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70-71页 |
