软X射线聚焦波带片研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-35页 |
| ·概述 | 第9-12页 |
| ·软X射线显微术 | 第12-20页 |
| ·软X射线显微镜和其他几种显微镜的比较 | 第12-14页 |
| ·X射线显微术的种类 | 第14-18页 |
| ·扫描透过式X射线显微镜 | 第14-15页 |
| ·透过式X射线显微镜 | 第15-16页 |
| ·其他软X射线显微术 | 第16-18页 |
| ·软X射线显微术的应用 | 第18-20页 |
| ·在生命科学上的应用 | 第18-20页 |
| ·在物理学和化学上的应用 | 第20页 |
| ·软X射线波带片概述 | 第20-27页 |
| ·X射线波带片的主要类型 | 第21-23页 |
| ·X射线波带片的主要制作方法 | 第23-27页 |
| ·激光全息 | 第23-25页 |
| ·电子束光刻 | 第25-26页 |
| ·溅射切片波带片 | 第26-27页 |
| ·电子束碳污染法 | 第27页 |
| ·国内相关研究状况 | 第27-28页 |
| ·选题意义和本博士论文的构成 | 第28-29页 |
| 参考文献 | 第29-35页 |
| 第二章 X射线波带片理论 | 第35-62页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·基本参数 | 第35-38页 |
| ·波带片的效率分析方法 | 第38-50页 |
| ·几何光学方法 | 第39-42页 |
| ·标量方法 | 第42-43页 |
| ·局域线性光栅模型 | 第43-48页 |
| ·几种方法计算结果的简单比较 | 第48-50页 |
| ·瑞利分辨率和焦深 | 第50-51页 |
| ·制作误差对效率的影响 | 第51-60页 |
| ·用复振幅叠加法和圆环衍射场叠加法分析误差 | 第53-54页 |
| ·环带位置和宽度随机误差 | 第54-56页 |
| ·扩散和粗糙度 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 第三章 软X射线聚焦波带片的研制 | 第62-105页 |
| ·产生波带片图形的全息光路 | 第62-69页 |
| ·波带片材料的选择 | 第69-72页 |
| ·振幅型Au软X射线聚焦波带片的研制 | 第72-81页 |
| ·全息光路的调节 | 第73-75页 |
| ·聚酰亚胺衬底 | 第75-77页 |
| ·离子束刻蚀转移图形 | 第77-78页 |
| ·振幅型Au软X射线聚焦波带片的工艺流程 | 第78-80页 |
| ·实验结果与分析 | 第80-81页 |
| ·自支撑型Au软X射线聚焦波带片的研制 | 第81-89页 |
| ·自支撑型Au软X射线聚焦波带片的特点 | 第81-82页 |
| ·同步辐射光刻转移波带片图形 | 第82-83页 |
| ·自支撑型Au软X射线聚焦波带片的工艺流程 | 第83-89页 |
| ·Ni、Ge软X射线聚焦波带片的研制 | 第89-101页 |
| ·氮化硅衬底 | 第89-94页 |
| ·图形的转移方法 | 第94-97页 |
| ·Ni图形的转移方法 | 第94-95页 |
| ·Ge图形的转移方法 | 第95-97页 |
| ·Ni、Ge软X射线聚焦波带片的工艺流程 | 第97-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-105页 |
| 第四章 软X射线聚焦波带片相对效率的检测 | 第105-115页 |
| ·简介 | 第105-108页 |
| ·软X射线聚焦波带片相对衍射效率的检测 | 第108-112页 |
| ·相对衍射效率检测 | 第108页 |
| ·基本光路 | 第108-110页 |
| ·通光带宽 | 第110页 |
| ·聚酰亚胺衬底厚度归一化 | 第110页 |
| ·光源的稳定性 | 第110-112页 |
| ·针孔直径的选择 | 第112页 |
| ·实验结果及分析 | 第112-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 参考文献 | 第114-115页 |
| 第五章 总结与展望 | 第115-117页 |
| ·本文主要结论与展望 | 第115页 |
| ·本文的创新之处和有待进一步研究的问题 | 第115-117页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118页 |
