叉指式硅微机械加速度计设计与检测技术研究
| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| ·加速度计概述 | 第11-12页 |
| ·微机械加速度计的发展 | 第12-15页 |
| ·微机械加速度计的发展概述 | 第12-13页 |
| ·微机械加速度计的分类 | 第13页 |
| ·微机械加速度计的应用 | 第13-15页 |
| ·硅微机械加速度计简介 | 第15-18页 |
| ·叉指式硅微加速度计 | 第16-17页 |
| ·扭摆式硅微加速度计 | 第17页 |
| ·“三明治”摆式硅微加速度计 | 第17-18页 |
| ·研究意义和主要工作内容 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 叉指式硅微加速度计的理论分析 | 第20-29页 |
| ·加速度计的原理 | 第20-21页 |
| ·压膜阻尼模型 | 第21-22页 |
| ·微弹性支撑梁模型与计算 | 第22-27页 |
| ·平行板电容器的电压控制静电驱动 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 叉指式硅微加速度计的设计与电学模拟 | 第29-40页 |
| ·结构设计 | 第29-32页 |
| ·U 型梁的弹性系数 | 第30-31页 |
| ·差动电容的变化 | 第31-32页 |
| ·有限元仿真 | 第32-35页 |
| ·模态分析 | 第32-35页 |
| ·意外冲击的仿真研究 | 第35页 |
| ·微加速度计电学模拟 | 第35-38页 |
| ·微加速度计的制作流程 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 叉指式硅微加速度计输出信号的检测 | 第40-59页 |
| ·电容式微加速度计的检测原理 | 第40-41页 |
| ·微小电容的检测方法 | 第41-43页 |
| ·缓冲器电容检测方法 | 第41-42页 |
| ·积分器电容检测方法 | 第42-43页 |
| ·叉指式硅微加速度计的信号检测 | 第43-58页 |
| ·微加速度计开环检测 | 第43-45页 |
| ·微加速度计闭环检测 | 第45-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 叉指式硅微加速度计的测试 | 第59-64页 |
| ·测试系统介绍 | 第60-61页 |
| ·主要性能指标 | 第60页 |
| ·测试设备及测试条件 | 第60-61页 |
| ·测试结果与性能分析 | 第61-63页 |
| ·基于MS3110 的开环微加速度计的测试 | 第61-62页 |
| ·闭环微加速度计的测试 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 全文总结与未来工作展望 | 第64-65页 |
| ·全文总结 | 第64页 |
| ·未来工作展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68页 |
