感应耦合等离子体源线圈配置对等离子体特性的影响

中文摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
第一章 引言	第7-11页
·研究背景	第7-10页
·国内外研究现状	第10页
·论文的研究内容与结构	第10-11页
第二章 实验装置	第11-21页
·感应耦合等离子体源	第11-13页
·测量方法	第13-20页
·朗谬尔探针	第13-16页
·罗氏线圈	第16-18页
·磁探针	第18-19页
·电容探针	第19-20页
·本章小结	第20-21页
第三章 感应耦合等离子体变压器模型的数值计算	第21-30页
·空气芯变压器模型	第21-22页
·等离子体电学参量	第22-27页
·功率耦合效率的计算与分析	第27-29页
·本章小结	第29-30页
第四章 线圈几何配置对感应耦合等离子体特性的影响	第30-41页
·功率耦合效率	第30-35页
·罗氏线圈有效性验证	第30-32页
·功率对功率耦合效率的影响	第32-34页
·气压对功率耦合效率的影响	第34-35页
·等离子体基本参量	第35-40页
·对探针的几点考虑	第35-37页
·不同线圈对应的等离子体参量的比较	第37-38页
·不同线圈对应的等离子体均匀性比较	第38-40页
·本章小结	第40-41页
第五章 结论	第41-42页
参考文献	第42-46页
攻读硕士学位期间公开发表的论文	第46-47页
致谢	第47-48页
中文详细摘要	第48-50页