| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-27页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·地震勘探仪器的发展背景 | 第10-11页 |
| ·地震检波器概况 | 第11-13页 |
| ·地震检波器的类型 | 第11-12页 |
| ·我国地震检波器研究进展 | 第12页 |
| ·新型地震检波器的发展动向 | 第12-13页 |
| ·光波导传感器 | 第13-16页 |
| ·光波导传感器的优点 | 第13-14页 |
| ·光波导传感器的分类 | 第14页 |
| ·光波导传感器的工作原理 | 第14-15页 |
| ·光波导加速度传感器 | 第15-16页 |
| ·MEMS传感器 | 第16-19页 |
| ·MEMS传感器概述 | 第16-18页 |
| ·MEMS加速度传感器的分类与工作原理 | 第18-19页 |
| ·MOEMS传感器 | 第19-20页 |
| ·国内外MEMS/MOEMS加速度传感器发展历史及研究现状 | 第20-22页 |
| ·FPGA 的发展和应用 | 第22-24页 |
| ·概述 | 第22-23页 |
| ·FPGA的分类 | 第23页 |
| ·FPGA的设计实现 | 第23-24页 |
| ·本文主要研究工作 | 第24-27页 |
| 第二章 光电集成加速度地震检波器的工作原理及工艺研究 | 第27-57页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·干涉原理 | 第27-28页 |
| ·传感原理 | 第28-31页 |
| ·应力应变效应 | 第28-30页 |
| ·温度应变效应 | 第30-31页 |
| ·加速度地震检波器工作原理 | 第31-43页 |
| ·加速度地震检波器静动态分析 | 第31-36页 |
| ·简谐振子质量块 | 第32-33页 |
| ·简谐振子十字梁形变分析 | 第33-35页 |
| ·相位变化分析 | 第35-36页 |
| ·加速度地震检波器动态分析 | 第36-39页 |
| ·加速度计相位灵敏度 | 第39-42页 |
| ·加速度计量程 | 第42-43页 |
| ·M-Z光波导干涉仪工作原理 | 第43-48页 |
| ·介质光波导 | 第43-44页 |
| ·有效折射率法 | 第44-46页 |
| ·Y分支波导与波导转向镜 | 第46-48页 |
| ·简谐振子的工艺研究 | 第48-51页 |
| ·简谐振子制作工艺流程 | 第48-49页 |
| ·简谐振子的制作 | 第49-50页 |
| ·清洗 | 第49页 |
| ·热氧化SiO_2薄膜 | 第49页 |
| ·光刻 | 第49-50页 |
| ·HF 酸腐蚀SiO_2 薄膜 | 第50页 |
| ·各向异性溶液腐蚀硅 | 第50页 |
| ·简谐振子的制作结果 | 第50-51页 |
| ·波导干涉仪的工艺研究 | 第51-56页 |
| ·波导干涉仪制作工艺流程 | 第51-53页 |
| ·分支波导的制作 | 第53-54页 |
| ·波导反射镜的制作 | 第54页 |
| ·波导干涉仪的制作结果 | 第54-56页 |
| ·小结 | 第56-57页 |
| 第三章 声光波导相位调制器的工作原理与实验研究 | 第57-81页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·声光效应调制原理 | 第57-65页 |
| ·弹性波的波方程 | 第58-59页 |
| ·声表面波（SAW） | 第59-61页 |
| ·叉指换能器的工作原理 | 第61-65页 |
| ·ZnO薄膜 | 第65-66页 |
| ·波导光的调制 | 第66-67页 |
| ·声光相位调制器的设计 | 第67-70页 |
| ·声光相位调制器的工艺研究 | 第70-73页 |
| ·声光相位调制器制作工艺流程 | 第70-71页 |
| ·ZnO薄膜的制作 | 第71-73页 |
| ·叉指换能器的制作 | 第73页 |
| ·声光相位调制器的制作结果 | 第73-80页 |
| ·ZnO薄膜的厚度 | 第73页 |
| ·ZnO薄膜的结晶状态 | 第73-75页 |
| ·ZnO薄膜的表面形貌 | 第75-76页 |
| ·ZnO薄膜的择优取向性 | 第76-78页 |
| ·不同衬底温度的影响 | 第76-77页 |
| ·不同退火温度的影响 | 第77-78页 |
| ·IDT 的性能测试 | 第78-80页 |
| ·IDT 的微观结构 | 第78-79页 |
| ·IDT 的厚度 | 第79-80页 |
| ·小结 | 第80-81页 |
| 第四章 半导体激光光源调制与信号处理系统的研究 | 第81-102页 |
| ·引言 | 第81页 |
| ·信号处理电路工作原理 | 第81-86页 |
| ·外差相位解调法 | 第82页 |
| ·零差相位解调法 | 第82-86页 |
| ·无源零差相位解调法 | 第82-83页 |
| ·有源零差相位解调法 | 第83-85页 |
| ·相位载波零差解调法 | 第85-86页 |
| ·激光光源调制与信号处理系统工作原理 | 第86-90页 |
| ·数字信号处理系统设计 | 第90-101页 |
| ·数字信号处理系统的结构 | 第90-91页 |
| ·通用模块的规范化设计 | 第91-93页 |
| ·滤波器模块LPF的设计 | 第93-100页 |
| ·基于MATLAB 的FIR 滤波器设计 | 第95-96页 |
| ·分布式算法介绍 | 第96-99页 |
| ·DA算法的FPGA实现 | 第99-100页 |
| ·解调模块的综合结果 | 第100-101页 |
| ·小结 | 第101-102页 |
| 第五章 光电集成加速度地震检波器的实验研究 | 第102-106页 |
| ·引言 | 第102页 |
| ·信号处理电路的测试 | 第102-103页 |
| ·系统测试 | 第103-105页 |
| ·小结 | 第105-106页 |
| 第六章 总结与展望 | 第106-108页 |
| ·论文完成的主要工作 | 第106-107页 |
| ·工作中的主要创新点 | 第107页 |
| ·工作的下一步展望与计划 | 第107-108页 |
| 参考文献 | 第108-118页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第118-120页 |
| 致谢 | 第120页 |