高速振镜理论研究及实践

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-5页
目录	第5-7页
1 绪论	第7-16页
·激光加工产业概况和发展	第7-8页
·激光标刻系统工作原理	第8-9页
·振镜式激光标刻系统组成原理	第9-15页
·本课题的目的、意义和研究内容	第15-16页
2 振镜扫描器组成原理	第16-24页
·扫描反射镜	第16-17页
·扫描电机	第17-20页
·角度传感器~[25-29]	第20-22页
·扫描物镜	第22-23页
·小结	第23-24页
3 振镜伺服系统理论	第24-39页
·振镜伺服系统分析	第24页
·自动控制系统的基本控制方法	第24-25页
·伺服系统的性能要求	第25-26页
·伺服系统的设计方法	第26-38页
·伺服系统整体结构设计	第38页
·小结	第38-39页
4 振镜扫描器伺服电路设计	第39-54页
·输入信号的调节	第39-40页
·角位置信号检测与处理电路	第40-42页
·AGC电路	第42-43页
·校正电路	第43-50页
·输出电路	第50-51页
·辅助电路	第51-52页
·小结	第52-54页
5 电路调试	第54-58页
·小信号调试	第55-56页
·大信号调试	第56-57页
·匹配调试	第57-58页
6 全文总结	第58-59页
致  谢	第59-60页
参考文献	第60-63页
附录1  攻读硕士学位期间发表论文	第63-64页
附录2  振镜伺服电路板	第64页