| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 文献综述 | 第9-25页 |
| ·选题的背景与意义 | 第9-10页 |
| ·ITO透明导电薄膜的特性与制备 | 第10-16页 |
| ·ITO薄膜的结构与性能 | 第10-11页 |
| ·ITO透明导电薄膜的制备方法 | 第11-16页 |
| ·ITO薄膜的基本应用 | 第16-20页 |
| ·ITO薄膜在平面显示领域的应用 | 第17-18页 |
| ·ITO薄膜在热辐射反射镜及微波屏蔽和防护镜方面的应用 | 第18-19页 |
| ·ITO薄膜在太阳能电池方面的应用 | 第19页 |
| ·ITO薄膜在气敏元件方面的应用 | 第19-20页 |
| ·溶胶凝胶法制备ITO薄膜的国内外研究进展 | 第20-23页 |
| ·本课题研究的内容 | 第23-25页 |
| 第二章 ITO透明导电薄膜的溶胶凝胶法制备 | 第25-31页 |
| ·实验原理 | 第25-26页 |
| ·系统与基础组分的选定 | 第26-27页 |
| ·溶胶的基本成分 | 第26-27页 |
| ·组分配比范围的确定 | 第27页 |
| ·ITO透明导电膜的制备过程 | 第27-30页 |
| ·ITO薄膜的制备工艺流程 | 第27页 |
| ·硝酸铟原料的制备 | 第27-28页 |
| ·ITO稳定溶胶的制备 | 第28-29页 |
| ·基体的选择和处理 | 第29页 |
| ·提拉工艺 | 第29页 |
| ·ITO薄膜的热处理 | 第29-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 第三章 ITO透明导电薄膜的结构表征和性能测定 | 第31-42页 |
| ·结构分析与测试 | 第31-33页 |
| ·热分析(DTA-TG) | 第31页 |
| ·X射线衍射谱分析(XRD) | 第31-32页 |
| ·红外光谱(FT-IR)测定 | 第32页 |
| ·扫描电子显微分析(SEM) | 第32-33页 |
| ·能谱试验(EDS) | 第33页 |
| ·结果与分析 | 第33-40页 |
| ·ITO薄膜从凝胶向结晶过程的转变 | 第33-36页 |
| ·ITO薄膜与基体的结合状况 | 第36-39页 |
| ·ITO薄膜的表面形貌 | 第39-40页 |
| ·小结 | 第40-42页 |
| 第四章 ITO透明导电薄膜的电学性能 | 第42-52页 |
| ·ITO薄膜的导电原理 | 第42-43页 |
| ·ITO薄膜电学性能的测定 | 第43-44页 |
| ·试验结果与讨论 | 第44-51页 |
| ·溶胶浓度对薄膜导电性能的影响 | 第44-46页 |
| ·不同掺杂剂含量对薄膜导电性能的影响 | 第46页 |
| ·不同提拉次数和提拉速度对薄膜导电性能的影响 | 第46-47页 |
| ·不同冷却速度和热处理温度对薄膜导电性能的影响 | 第47-49页 |
| ·不同玻璃基体对薄膜导电性能的影响 | 第49-50页 |
| ·溶胶凝胶法的工艺特点对薄膜导电性能的影响 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 第五章 ITO透明导电薄膜的光学性能 | 第52-58页 |
| ·ITO薄膜的透光原理 | 第52-53页 |
| ·ITO薄膜的透光率的测定 | 第53页 |
| ·试验结果与讨论 | 第53-57页 |
| ·不同镀膜次数对薄膜透光率的影响 | 第53-54页 |
| ·不同热处理温度对薄膜透光率的影响 | 第54-55页 |
| ·不同掺杂剂含量对薄膜透光率的影响 | 第55页 |
| ·不同冷却速度对薄膜透光率的影响 | 第55-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第六章 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |