电子信息材料声参数分布SLAM检测法研究

引言	第1-15页
第一章 激光扫描声学显微镜系统	第15-19页
·SLAM结构	第15-16页
·SLAM成像原理	第16-19页
第二章 理论分析	第19-35页
·声波在抛光型分层介质中的传输规律	第19-27页
·抛光型分层介质模型	第19-20页
·声波在抛光型分层介质中传播规律分析	第20-25页
·抛光型分层介质声波反射系统	第25页
·抛光型分层介质动态波纹数学模型	第25-27页
·声波全内反射角入射时声波传输规律	第27-35页
·纵波全内反射角入射时声波传输规律	第27-33页
·声波传输规律分析	第27-29页
·反射系数	第29-30页
·数学模型	第30页
·动态波纹振幅极值分析	第30-33页
·横波全内反射角入射时声波传输规律	第33页
·样品抛光SLAM系统灵敏度、分辨率	第33-35页
第三章 数值分析计算	第35-37页
第四章 数值仿真实验	第37-45页
·不同d／λ比值下抛光型样品动态波纹数值仿真	第37-39页
·d／λ约等于0.5时抛光型样品动态波纹数值模拟	第39页
·纵波全内反射角入射时动态波纹振幅数值仿真	第39-42页
·样品抛光SLAM实验设计	第42-43页
·样品抛光型SLAM实验与分析	第43-45页
第五章 结论	第45-46页
参考文献	第46-49页
致谢	第49-50页