| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·压电能量收集器发展现状 | 第9-14页 |
| ·PZT 制备方法 | 第14-17页 |
| ·本课题研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 能量收集的基本原理 | 第19-35页 |
| ·振动能量收集的转换机制 | 第19-21页 |
| ·压电能量收集 | 第21-22页 |
| ·压电能量收集理论 | 第21-22页 |
| ·压电材料的压电效应 | 第22页 |
| ·压电模式（d_(31)和d_(33)）的对比 | 第22-25页 |
| ·悬臂梁的理论计算 | 第25-33页 |
| ·压电悬臂梁的应力分量 | 第25-32页 |
| ·悬臂梁在受集中载荷时的最大应力σ max | 第32-33页 |
| ·PZT 薄膜电能收集器 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 PZT 电能收集器的设计与仿真 | 第35-48页 |
| ·计算机辅助软件介绍 | 第35-37页 |
| ·COMSOL Multiphysics 软件介绍 | 第35-36页 |
| ·IntelliSuite 软件介绍 | 第36-37页 |
| ·PZT 电能收集器结构尺寸的设计与仿真 | 第37-42页 |
| ·构建三维模型 | 第37页 |
| ·PZT 电能收集器性能分析 | 第37-40页 |
| ·PZT 电能收集器的频率响应分析 | 第40-42页 |
| ·PZT 电能收集器制作工艺流程与仿真 | 第42-46页 |
| ·PZT 电能收集器制作工艺流程 | 第42-43页 |
| ·掩模版图的设计 | 第43-44页 |
| ·PZT 电能收集器工艺流程模拟 | 第44-46页 |
| ·能量收集电路的设计与仿真 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 PZT 电能收集器的制备及测试 | 第48-60页 |
| ·溶胶-凝胶(Sol-Gel)技术 | 第48页 |
| ·PZT 薄膜的制备 | 第48-51页 |
| ·制备 PZT 溶胶的主要原料 | 第49-50页 |
| ·PZT 溶胶的制备工艺 | 第50-51页 |
| ·PZT 薄膜的制备 | 第51页 |
| ·PZT 粉体的测试 | 第51-52页 |
| ·PZT 薄膜的测试 | 第52-53页 |
| ·XRD 测试分析 | 第52页 |
| ·SEM 表面形貌分析 | 第52-53页 |
| ·PZT 电能收集器制备的关键工艺 | 第53-56页 |
| ·光刻工艺 | 第53-54页 |
| ·氧化工艺 | 第54页 |
| ·扩散工艺 | 第54页 |
| ·腐蚀工艺 | 第54-55页 |
| ·离子刻蚀 | 第55-56页 |
| ·PZT 电能收集器的制备 | 第56-58页 |
| ·掩模版的设计 | 第56页 |
| ·PZT 电能收集器的制备工艺流程 | 第56-58页 |
| ·PZT 电能收集器的测试 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第69页 |