声表面波加速度计阻尼技术研究
| 第一章 绪论 | 第1-14页 |
| ·加速度计 | 第7页 |
| ·各类加速度计的比较 | 第7-9页 |
| ·声表面波加速度计及其应用前景 | 第9-11页 |
| ·声表面波加速度计国内外研究水平与发展现状 | 第11-12页 |
| ·论文的结构安排 | 第12-14页 |
| 第二章 声表面波技术基础 | 第14-24页 |
| ·声表面波 | 第14-18页 |
| ·瑞利波 | 第15-16页 |
| ·声表面波的主要性质 | 第16-18页 |
| ·声表面波叉指换能器 | 第18-20页 |
| ·声表面波器件 | 第20-24页 |
| ·声表面波延迟线 | 第20-21页 |
| ·声表面波谐振器 | 第21-22页 |
| ·声表面波振荡器 | 第22-24页 |
| 第三章 声表面波谐振式加速度计 | 第24-32页 |
| ·声表面波谐振式加速度计的组成 | 第24页 |
| ·声表面波谐振式加速度计的工作原理 | 第24-29页 |
| ·声表面波加速度计悬臂梁的设计 | 第29-32页 |
| 第四章 加速度计模型 | 第32-42页 |
| ·加速度计的数学模型 | 第32-36页 |
| ·平动情况下加速度计的数学模型 | 第33-34页 |
| ·非平动情况下加速度计的数学模型 | 第34-35页 |
| ·压膜阻尼 | 第35-36页 |
| ·机电模拟 | 第36-39页 |
| ·力-电压相似性 | 第36-37页 |
| ·力-电流相似性 | 第37-38页 |
| ·两类机电模拟方法的比较 | 第38-39页 |
| ·加速度计的相似电系统 | 第39-42页 |
| 第五章 声表面波加速度计中的压膜阻尼 | 第42-67页 |
| ·无阻尼声表面波加速度计的响应 | 第42-43页 |
| ·各种阻尼方式的比较 | 第43-44页 |
| ·压膜效应与压膜阻尼 | 第44-47页 |
| ·压膜模型 | 第45-46页 |
| ·压膜力 | 第46-47页 |
| ·声表面波加速度计的相似电系统 | 第47-51页 |
| ·压膜阻尼的等效电路模型 | 第47-49页 |
| ·声表面波加速度计的相似电系统 | 第49-51页 |
| ·声表面波加速度计气隙宽度的选定 | 第51-53页 |
| ·压膜阻尼与系统性能 | 第53-67页 |
| ·连续流体的压膜阻尼 | 第53-56页 |
| ·非连续流体的压膜阻尼 | 第56-60页 |
| ·极板的表面状况对压膜阻尼的影响 | 第60-65页 |
| ·温度对压膜阻尼的影响 | 第65-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 第六章 声表面波加速度计结构参数确定 | 第67-70页 |
| 第七章 总结 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
