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Cu-MgF2复合纳米金属陶瓷薄膜的制备、微结构和性能的研究

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-7页
第一章 绪论第7-9页
 §1.1 引言第7-8页
 §1.2 国内外相关研究工作第8页
 §1.3 本文的主要研究工作第8-9页
第二章 Cu膜的制备、微结构和性能第9-25页
 §2.1 样品制备第9-10页
 §2.2 微结构第10-13页
 §2.3 光学常数第13-20页
 §2.4 应力特性第20-25页
第三章 MgF_2膜的制备、微结构和性能第25-32页
 §3.1 样品制备第25页
 §3.2 微结构第25-27页
 §3.3 光学常数第27-29页
 §3.4 应力特性第29-32页
第四章 Cu-MgF_2复合纳米金属陶瓷膜的制备、微结构和性能第32-54页
 §4.1 样品制备第32-33页
 §4.2 微结构及组分第33-40页
 §4.3 光学特性第40-50页
 §4.4 电学特性第50-54页
第五章 结论第54-57页
主要参考文献第57-59页
攻读硕士学位期间发表论文目录第59-60页
致谢第60页

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