| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-31页 |
| 1．1 引言 | 第11-12页 |
| 1．2 电弧离子镀 | 第12-19页 |
| 1．3 电弧离子镀存在的问题与解决现状 | 第19-23页 |
| 1．4 论文工作的内容与意义 | 第23-25页 |
| 本章参考文献 | 第25-31页 |
| 第二章 实验设备与实验方法 | 第31-41页 |
| 2．1 实验设备简介 | 第31-34页 |
| 2．2 试验方法 | 第34-40页 |
| 2．2．1 基体温度测量 | 第34-35页 |
| 2．2．2 薄膜试样的制备 | 第35-37页 |
| 2．2．3 薄膜性能测试方法 | 第37-38页 |
| 2．2．4 偏压及偏流波形测试 | 第38页 |
| 2．2．5 电弧离子镀等离子体诊断 | 第38-40页 |
| 本章参考文献 | 第40-41页 |
| 第三章 偏压与基体温度及薄膜性能 | 第41-75页 |
| 3．1 基体温度测试结果 | 第41-49页 |
| 3．1．1 在AIP-1型机上镀TiN时的温度测试结果 | 第41-46页 |
| 3．1．1．1 直流偏压下的温度测试结果 | 第41-44页 |
| 3．1．1．2 脉冲偏压下测温结果 | 第44-46页 |
| 3．1．2 在Bulat6机上沉积TiN时的测温结果 | 第46-49页 |
| 3．1．2．1 直流偏压下的测温结果 | 第46-47页 |
| 3．1．2．2 脉冲偏压下的测温结果 | 第47-49页 |
| 3．1．3 测温小结 | 第49页 |
| 3．2 TiN薄膜的性能测试与结果分析 | 第49-66页 |
| 3．2．1 不同偏压下的沉积速率 | 第49-50页 |
| 3．2．2 薄膜表面形貌分析 | 第50-55页 |
| 3．2．3 偏压对TiN薄膜择优取向的影响 | 第55-59页 |
| 3．2．4 透射电子显微（TEM）分析 | 第59-62页 |
| 3．2．5 偏压对TiN薄膜硬度的影响 | 第62-63页 |
| 3．2．6 偏压对TiN薄膜与基体结合力的影响 | 第63-65页 |
| 3．2．7 偏压对TiN薄膜摩擦系数的影响 | 第65-66页 |
| 3．3 讨论——离子的轰击效应 | 第66-72页 |
| 3．3．1 微区的温度 | 第66-70页 |
| 3．3．1．1 将微区考虑为绝热球体 | 第66-68页 |
| 3．3．1．2 将微区考虑为满足经典热传导时的计算 | 第68-70页 |
| 3．3．2 级联体微区中的应力 | 第70-72页 |
| 3．4 本章小结 | 第72-73页 |
| 本章参考文献 | 第73-75页 |
| 第四章 电弧离子镀的几点基础问题 | 第75-89页 |
| 4．1 电弧离子镀的等离子体诊断 | 第75-79页 |
| 4．2 基体电压、电流波形与等离子体负载特性 | 第79-81页 |
| 4．3 关于偏压对表面形貌影响的探讨 | 第81-86页 |
| 4．4 本章小结 | 第86-87页 |
| 本章参考文献 | 第87-89页 |
| 第五章 基体温度计算与预测 | 第89-119页 |
| 5．1 影响电弧离子镀基体沉积温度的主要因素 | 第89-100页 |
| 5．1．1 使基体温度升高的因素 | 第90-98页 |
| 5．1．1．1 离子轰击 | 第90-94页 |
| 5．1．1．2 电弧辐射 | 第94-97页 |
| 5．1．1．3 化学反应热 | 第97页 |
| 5．1．1．4 气相沉积凝华能 | 第97-98页 |
| 5．1．2 使基体温度降低的因素 | 第98-100页 |
| 5．1．2．1 基体向周围的辐射散热 | 第98-99页 |
| 5．1．2．2 传导引起的散热 | 第99页 |
| 5．1．2．3 由对流引起的散热 | 第99页 |
| 5．1．2．4 反溅射粒子带走的能量 | 第99-100页 |
| 5．2 基体温度计算 | 第100-116页 |
| 5．2．1 计算模型的建立及其求解 | 第100-103页 |
| 5．2．2 直流偏压情况下基体温度计算及分析 | 第103-114页 |
| 5．2．2．1 直流偏压对基体温度的影响 | 第104-106页 |
| 5．2．2．2 基体厚度对温度的影响 | 第106-107页 |
| 5．2．2．3 基体材料物理性能对温度变化的影响 | 第107-111页 |
| 5．2．2．4 基体轴的导热系数k对温度的影响 | 第111-112页 |
| 5．2．2．5 面积因子ξ对基体温度的影响 | 第112-113页 |
| 5．2．2．6 表面辐射系数ε对基体温度的影响 | 第113-114页 |
| 5．2．3 脉冲偏压下基体的温度变化 | 第114-116页 |
| 5．3 本章小结 | 第116-117页 |
| 本章参考文献 | 第117-119页 |
| 第六章 结论 | 第119-121页 |
| 展望 | 第121-122页 |
| 创新点摘要 | 第122-123页 |
| 博士期间发表的文章 | 第123-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |
