| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| §1．1 刀口法 | 第7-9页 |
| §1．2 临界角法 | 第9-11页 |
| §1．3 像散法 | 第11-12页 |
| §1．4 离轴探测法 | 第12-14页 |
| §1．5 准直小孔法 | 第14页 |
| §1．6 本文研究的主要内容 | 第14-16页 |
| 第二章 临界角方法的初步研究 | 第16-24页 |
| §2．1 临界角法的测量原理 | 第16-18页 |
| §2．2 临界角棱镜的折射率对离焦误差信号的影响 | 第18-22页 |
| §2．3 物镜的数值孔径NA对离焦误差信号FES的影响 | 第22-24页 |
| 第三章 实验研究 | 第24-29页 |
| §3．1 实验研究 | 第24-28页 |
| §3．2 实验分析 | 第28-29页 |
| 第四章 临界角棱镜对离焦误差信号影响的分析 | 第29-44页 |
| §4．1 临界角棱镜位置误差对离焦误差信号的影响 | 第29-39页 |
| §4．2 临界角棱镜的制造误差对离焦误差信号的影响 | 第39-43页 |
| §4．3 结论 | 第43-44页 |
| 第五章 物镜与离焦误差信号关系的分析 | 第44-49页 |
| §5．1 物镜的位置误差与离焦误差信号的关系 | 第44-46页 |
| §5．2 物镜的制造误差与离焦误差信号的关系 | 第46-47页 |
| §5．3 物镜的像差对离焦误差信号的影响 | 第47-48页 |
| §5．4 结论 | 第48-49页 |
| 第六章 偏振分束棱镜与光电探测器对离焦误差信号的影响的分析 | 第49-56页 |
| §6．1 偏振分束棱镜的位置误差对离焦误差信号的影响 | 第49-54页 |
| §6．2 偏振分束棱镜的制造误差对离焦误差信号的影响 | 第54页 |
| §6．3 光电探测器定位误差对离焦误差信号的影响 | 第54-55页 |
| §6．4 结论 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 附录一． 坐标旋转时旋转矩阵的数学公式推导 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-61页 |
