高频离子氮化的工艺研究
| 第一章 引言 | 第1-10页 |
| 一、 离子氮化的发展历程及趋势 | 第6-9页 |
| 二、 本课题研究的目标和意义 | 第9-10页 |
| 第二章 离子氮化的基本原理 | 第10-43页 |
| 第一节 等离子体物理基础 | 第10-17页 |
| 一、 等离子体的产生 | 第11页 |
| 二、 等离子体的特性 | 第11-16页 |
| 三、 等离子体中的反应 | 第16-17页 |
| 第二节 气体放电物理基础 | 第17-31页 |
| 一、 气体放电等离子体常用的电场类型 | 第17页 |
| 二、 气体放电的伏安特性曲线 | 第17-19页 |
| 三、 汤生放电理论 | 第19-21页 |
| 四、 帕邢定律 | 第21-22页 |
| 五、 气体辉光放电 | 第22-26页 |
| 六、 高频气体放电 | 第26-31页 |
| 第三节 钢的等离子体氮化原理 | 第31-38页 |
| 一、 Fe-N系状态图 | 第31-32页 |
| 二、 Fe-N-C系状态图 | 第32-33页 |
| 三、 氮的扩散系数 | 第33-34页 |
| 四、 合金元素对渗氮的影响 | 第34-35页 |
| 五、 离子轰击阴极表面的物理、化学效应 | 第35-37页 |
| 六、 离子氮化反应理论 | 第37-38页 |
| 第四节 等离子体氮化的特点 | 第38-43页 |
| 第三章 实验装置 | 第43-47页 |
| 一、 装置图 | 第43页 |
| 二、 设备各部分简介 | 第43-47页 |
| 第四章 实验过程及结果分析 | 第47-70页 |
| 第一节 样品的选择与制备 | 第47-49页 |
| 第二节 高频气体辉光放电离子氮化 | 第49-67页 |
| 一、 钛合金的离子氮化 | 第50-59页 |
| 二、 渗氮钢的离子氮化 | 第59-63页 |
| 三、 不锈钢的离子氮化 | 第63-65页 |
| 四、 铝的离子氮化 | 第65-67页 |
| 第三节 常压气体辉光放电的探索 | 第67-70页 |
| 第五章 结论 | 第70-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
