| 目录 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 综述 | 第10-23页 |
| ·类金刚石薄膜的结构、分类、制备和表征 | 第11-19页 |
| ·类金刚石薄膜的结构 | 第11-13页 |
| ·类金刚石薄膜的分类 | 第13-14页 |
| ·类金刚石薄膜的制备 | 第14-17页 |
| ·类金刚石薄膜的表征 | 第17-19页 |
| ·类金刚石薄膜摩擦学研究现状和存在问题 | 第19-21页 |
| ·研究现状 | 第19-20页 |
| ·存在问题 | 第20-21页 |
| ·研究内容、目的和意义 | 第21-23页 |
| ·研究内容 | 第21页 |
| ·研究目的和意义 | 第21-23页 |
| 第2章 F-DLC 薄膜的制备及其结构影响因素研究 | 第23-34页 |
| ·实验部分 | 第23-24页 |
| ·仪器设备 | 第23页 |
| ·薄膜制备 | 第23-24页 |
| ·薄膜结构表征 | 第24页 |
| ·结果与讨论 | 第24-33页 |
| ·基底偏压频率对薄膜结构的影响 | 第24-26页 |
| ·基底温度对薄膜结构的影响 | 第26-28页 |
| ·前驱气体流量对薄膜结构的影响 | 第28-31页 |
| ·不同氟掺杂方式对薄膜结构的影响 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 F-DLC 薄膜的制备及其性能影响因素研究 | 第34-51页 |
| ·实验部分 | 第34-36页 |
| ·仪器设备 | 第34页 |
| ·薄膜制备 | 第34-35页 |
| ·薄膜性能表征 | 第35-36页 |
| ·结果与讨论 | 第36-49页 |
| ·基底偏压频率对薄膜性能的影响 | 第36-38页 |
| ·基底温度对薄膜性能的影响 | 第38-39页 |
| ·前驱气体流量对薄膜性能的影响 | 第39-44页 |
| ·不同氟掺杂方式对薄膜性能的影响 | 第44-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 氟掺杂碳氢薄膜摩擦学模型建立和机理研究 | 第51-54页 |
| ·模型建立依据 | 第51页 |
| ·碳氢薄膜摩擦学模型 | 第51-52页 |
| ·氟掺杂碳氢薄膜摩擦学模型 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 附录 A：攻读学位期间发表的论文 | 第61页 |