子孔径拼接干涉检测非球面光学元件
摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-7页 |
1 绪论 | 第7-10页 |
·课题的研究背景 | 第7-9页 |
·论文的主要研究工作 | 第9-10页 |
2 非球面光学元件 | 第10-21页 |
·国内外非球面零件的超精密加工技术的现状 | 第10-13页 |
·非球面零件超精密切削加工技术 | 第10-11页 |
·非球面零件超精密磨削加工技术 | 第11-12页 |
·非球面零件超精密抛光技术 | 第12-13页 |
·非球面零件复制技术 | 第13页 |
·非球面光学元件的分类 | 第13-14页 |
·按非球面对称轴数目分类 | 第13-14页 |
·按外形尺寸分类 | 第14页 |
·按制造精度分类 | 第14页 |
·二次非球面的分析 | 第14-20页 |
·二次非球面的数学表达式 | 第14-15页 |
·二次曲线的光学特性 | 第15-18页 |
·最接近比较球面 | 第18-20页 |
·非球面的选择 | 第20-21页 |
3 子孔径拼接 | 第21-28页 |
·子孔径拼接的概述 | 第21-23页 |
·子孔径拼接的分类 | 第23-25页 |
·圆形子孔径 | 第23-24页 |
·矩形子孔径 | 第24-25页 |
·环形子孔径 | 第25页 |
·子孔径拼接的原理 | 第25-26页 |
·子孔径拼接的应用 | 第26-27页 |
·子孔径的选择 | 第27-28页 |
4 环形子孔径拼接 | 第28-50页 |
·环型子孔径的划分 | 第28-34页 |
·划分的数学模型 | 第28-33页 |
·影响子孔径划分几个的因素 | 第33-34页 |
·子孔径数目的确定 | 第34-36页 |
·算例分析 | 第36-43页 |
·拼接算法的研究 | 第43-48页 |
·拼接模式 | 第43页 |
·串行拼接 | 第43-45页 |
·多孔径拼接 | 第45-46页 |
·局部均化误差 | 第46-47页 |
·拼接算法程序 | 第47-48页 |
·实验平台的技术要求 | 第48-50页 |
5 实验模拟和误差分析 | 第50-58页 |
·实验模拟 | 第50-55页 |
·误差分析 | 第55-58页 |
·测量误差 | 第55-57页 |
·模型误差 | 第57页 |
·拼接误差 | 第57-58页 |
总结 | 第58-59页 |
致谢 | 第59-60页 |
参考文献 | 第60-63页 |
附录 | 第63页 |