宏微驱动超精密定位工作台在磨床上的应用研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第13页 |
| ·国内外研究的进展和现状 | 第13-19页 |
| ·宏微驱动的国内外研究进展与现状 | 第13-16页 |
| ·微进给技术在精密磨削中的作用与应用 | 第16-19页 |
| ·本文主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 磨床超精密定位工作台系统研究 | 第21-37页 |
| ·磨床超精密定位工作台系统构成 | 第21-22页 |
| ·微进给方案设计 | 第22-33页 |
| ·常用微进给工作台 | 第23-25页 |
| ·压电陶瓷微位移器件 | 第25-31页 |
| ·压电陶瓷驱动电源 | 第31-32页 |
| ·柔性铰链微进给工作台 | 第32-33页 |
| ·检测系统 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 宏微驱动超精密工作台关键技术研究 | 第37-62页 |
| ·精密进给工作台总体结构设计 | 第37-39页 |
| ·精密进给工作台方案设计 | 第37-38页 |
| ·精密进给工作台总体结构设计 | 第38-39页 |
| ·宏进给工作台设计 | 第39-41页 |
| ·微进给工作台的设计 | 第41-61页 |
| ·导向支承机构方案分析 | 第41-42页 |
| ·平行四边形导向性能分析 | 第42-43页 |
| ·微进给工作台刚度分析 | 第43-46页 |
| ·柔性铰链关键参数的确定 | 第46-50页 |
| ·有限元法校核 | 第50-54页 |
| ·柔性铰链的加工 | 第54-55页 |
| ·柔性铰链的疲劳寿命分析 | 第55-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 宏微驱动控制系统设计与系统集成 | 第62-81页 |
| ·总体控制方案设计 | 第62-63页 |
| ·宏微驱动的动力学分析 | 第63-65页 |
| ·微进给硬件电路设计 | 第65-71页 |
| ·微进给控制系统硬件组成 | 第65页 |
| ·压电陶瓷驱动电路设计 | 第65-66页 |
| ·微进给系统检测电路设计 | 第66-68页 |
| ·微进给控制系统人机接口设计 | 第68-70页 |
| ·磨床信号处理模块 | 第70-71页 |
| ·微进给系统闭环控制流程 | 第71-76页 |
| ·微进给系统控制方法 | 第71-73页 |
| ·控制系统前馈模型的建立 | 第73-75页 |
| ·压电陶瓷驱动器的使用寿命分析 | 第75-76页 |
| ·超精密定位工作台在磨床上应用的软件流程设计 | 第76-80页 |
| ·磨床切入磨控制流程设计 | 第77-78页 |
| ·磨床纵磨控制流程设计 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第五章 试验研究 | 第81-93页 |
| ·性能测试环境要求及设计 | 第81-82页 |
| ·测试实验 | 第82-92页 |
| ·微进给工作台静态性能测试 | 第82-84页 |
| ·微进给系统动态性能测试 | 第84-87页 |
| ·精密磨床的加工试验测试 | 第87-92页 |
| ·实验结论 | 第92-93页 |
| 第六章 总结与展望 | 第93-95页 |
| ·全文总结 | 第93-94页 |
| ·工作展望 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-97页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第97-98页 |
| 致谢 | 第98页 |
