基于模糊控制的金刚石电镀装置的研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-10页 |
第1章 前 言 | 第10-18页 |
·课题来源及研究意义 | 第10-11页 |
·课题来源 | 第10页 |
·课题研究意义 | 第10-11页 |
·国内外金刚石电镀发展现状 | 第11-13页 |
·国内外电镀工业的发展 | 第11-12页 |
·金刚石电镀发展现状 | 第12-13页 |
·电镀电源的发展现状及研究方向 | 第13-15页 |
·电镀电源的发展现状 | 第13-14页 |
·电镀电源的研究方向 | 第14-15页 |
·课题研究内容 | 第15-16页 |
·电镀装置的主要设计要求 | 第16页 |
·课题研究的主要内容 | 第16页 |
·论文组织结构 | 第16-18页 |
第2章 金刚石电镀装置整体方案设计 | 第18-30页 |
·电源的主电路拓扑 | 第18-20页 |
·单端正激变换器 | 第18-19页 |
·半桥变换器 | 第19-20页 |
·全桥变换器 | 第20页 |
·软开关技术 | 第20-23页 |
·软开关技术的出现 | 第20-23页 |
·软开关技术的分类 | 第23页 |
·同步整流技术 | 第23-25页 |
·自驱动同步整流 | 第24页 |
·外驱动同步整流 | 第24-25页 |
·PWM驱动控制电路 | 第25-26页 |
·开关电源的控制方式 | 第25-26页 |
·驱动电路 | 第26页 |
·温度控制电路 | 第26-27页 |
·模糊控制的基本理论 | 第27-30页 |
·模糊控制简述 | 第27页 |
·模糊控制的数学原理 | 第27-28页 |
·模糊控制器的结构 | 第28-30页 |
第3章 金刚石电镀装置的硬件设计 | 第30-56页 |
·电源主电路的设计 | 第30-41页 |
·EMI滤波器设计 | 第30-31页 |
·工频整流滤波电路设计 | 第31-34页 |
·高频逆变电路 | 第34-35页 |
·高频变压器的设计 | 第35-39页 |
·高频整流滤波电路设计 | 第39-41页 |
·电源控制电路的设计 | 第41-51页 |
·SG3525A芯片 | 第41-43页 |
·SG3525A的外围电路 | 第43-44页 |
·驱动信号处理电路 | 第44-46页 |
·TX-KD301驱动模块 | 第46-47页 |
·检测保护电路设计 | 第47-50页 |
·辅助电源设计 | 第50-51页 |
·单片机控制电路的设计 | 第51-54页 |
·单片机控制系统的功能 | 第51-52页 |
·单片机MC68HC908GP32功能分析 | 第52-53页 |
·D/A 转换电路 | 第53页 |
·继电器控制电路 | 第53-54页 |
·脉冲封锁电路 | 第54页 |
·温度控制电路的设计 | 第54-56页 |
第4章 金刚石电镀控制系统的软件设计 | 第56-67页 |
·软件设计思想 | 第56-57页 |
·程序模块设计 | 第57-58页 |
·主程序模块设计 | 第57-58页 |
·模糊控制子程序 | 第58页 |
·模糊控制器的软件设计 | 第58-67页 |
·输入输出量的选取 | 第59页 |
·精确量模糊化 | 第59-60页 |
·模糊算法设计 | 第60-62页 |
·输出量的反模糊化 | 第62-63页 |
·仿真实验 | 第63-67页 |
第5章 实验结果及分析 | 第67-70页 |
·实验装置与实验波形 | 第67-69页 |
·实验装置 | 第67页 |
·实验波形 | 第67-69页 |
·实验波形的分析 | 第69-70页 |
结论与展望 | 第70-72页 |
参考文献 | 第72-75页 |
致谢 | 第75页 |