| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 1 引言 | 第10-18页 |
| ·课题提出的背景和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-17页 |
| Ⅰ.非光学纳米测量方法 | 第11页 |
| Ⅱ.光学干涉纳米测量方法 | 第11-17页 |
| ·双频激光干涉仪测量法 | 第12页 |
| ·F-P干涉仪测量法 | 第12-13页 |
| ·激光偏振干涉仪测量法 | 第13-14页 |
| ·X射线干涉仪测量法 | 第14-15页 |
| ·光栅干涉仪测量法 | 第15-16页 |
| ·其它几种光学纳米测量方法 | 第16页 |
| ·纳米测量技术的展望及需要解决的问题 | 第16-17页 |
| ·本论文的主要工作 | 第17-18页 |
| 2 光谱色散线扫描的测量系统 | 第18-30页 |
| ·测量系统介绍 | 第18-20页 |
| ·衍射光栅的性质及原理分析 | 第20-30页 |
| ·一维振幅光栅 | 第21-26页 |
| ·位相光栅——闪耀光栅的原理及本试验选用分析 | 第26-30页 |
| 3 CCD图像传感器系统及Labview数据采集系统 | 第30-52页 |
| ·CCD图像传感器 | 第30-45页 |
| ·CCD工作原理 | 第30-33页 |
| ·UPD3753 CCD图像传感器 | 第33-37页 |
| ·UPD3747 CCD图像传感器 | 第37-42页 |
| ·G9204—512D CCD图像传感器 | 第42-45页 |
| ·CPLD原理及VHDL程序编程 | 第45-50页 |
| ·CPLD——MAX7000系列介绍 | 第45-47页 |
| ·VHDL语言编程及QUARTUS Ⅱ软件仿真 | 第47-50页 |
| ·Labview数据采集系统 | 第50-52页 |
| 4 光谱色散线扫描测量系统实验 | 第52-60页 |
| ·1545nm实验系统 | 第53-55页 |
| ·ASE宽带光源 | 第53-54页 |
| ·实验结果 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55页 |
| ·655nm实验系统 | 第55-60页 |
| ·激光二极管 | 第55-56页 |
| ·实验结果 | 第56-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 5 结论 | 第60-62页 |
| ·本论文的研究总结 | 第60-61页 |
| ·今后需要继续深入的工作 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 附录A | 第64-65页 |
| 附录B | 第65-67页 |
| 附录C | 第67-68页 |
| 作者简历 | 第68-70页 |
| 学位论文数据集 | 第70页 |